中古 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293764146 を販売中
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ID: 293764146
Reactive Ion Etcher (RIE)
Upgraded to X20 PLC
ATP400 HPC Pump
RFX600A Generator
Gas box
Turbo pump
Monitor
PC
Operating system: Windows 10.
OXFORD Plasmalab 80 Plusは、材料研究、半導体製造、チップ生産に使用するために設計されたアッシャーおよびエッチャーです。その高度な設計と構造により、非常に正確で非常に正確なエッチングとアッシャーの結果を生成することができます。Plasmalab 80 Plusは、最高品質のステンレス鋼から構成されており、最も耐久性のある信頼性の高い性能だけでなく、例外的な流出およびオーバーフロー抵抗も保証します。このエッチャー/アッシャーには、高度な電子制御が装備されており、対話するためのデジタルディスプレイを備えています。これは、自己完結型の安全試験システムと優れた温度安定性を備えたシングルステージの高真空メカニカルポンピングシステムを利用しています。その他の機能として、調節可能なチャンバ圧力範囲と、広い動作範囲(最大350W)の内蔵の高性能RFジェネレータがあります。OXFORD Plasmalab 80 Plusには、ガスミキサーとヒーターの最先端システムが装備されており、ジョブの正確な要件に応じて、特定の比率と流量に設定できます。また、精密多層エッチングとアッシングが可能で、再現可能なエッチング速度は0。1 um/minです。柔軟なプロセス制御により、サイクルタイムと最大スループットを最小限に抑え、正確で高品質な結果を得ることができます。高度な設計のおかげで、Plasmalab 80 Plusは操作が非常に簡単です。そのユーザーフレンドリーなインターフェイスは直感的で簡単に設計されており、迅速で簡単なセットアップと調整を可能にします。すべてのプロセスは高度に自動化され、いくつかの高度な安全機能を備えており、最適化された安全で生産的なプロセスを保証します。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、優れたエッチングとアッシング機能に加えて、ウェハクリーニングやデボンディングにも最適です。その高度な設計と建設は、ファブグレードの半導体製造に特に適しています。このエッチャー/アッシャーは、メンテナンス時間が非常に低く、高い信頼性を備えています。Plasmalab 80 Plusは高品質の材料で作られているため、その高性能は最低限のメンテナンスまたは修理で長年持続することが保証されています。
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