中古 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293751369 を販売中

OXFORD Plasmalab 80 Plus
ID: 293751369
PECVD Systems.
OXFORD Plasmalab 80 Plusは、厳しい公差と滑らかな仕上げのハイエンドサンプルを生成するように設計されたエッチング装置です。このシステムは、自動液体ディスペンサー、高度なソフトウェア制御プラズマ電源、コンパクトで堅牢に構築されたプラテン、直感的なソフトウェアインターフェイス、および関連するアクセサリのセットを備えています。Plasmalab 80 Plusの液体ディスペンサーは、2。5ml単位で0。1〜250mlの範囲のエッチング液体およびその他の試薬を正確に分配します。プラズマ電源はウェーハ表面に加速された高速プラズマを最大70kWで供給し、再現性と精度の高いエッチング環境を実現します。高導電アルミ合金で構成されたプラテンは、エッチング材を所定の位置に保持し、プロセスの開始から終了まで均一なエッチングを保証します。さらに、このエッチャーは調整可能なパラメータの配列を備えており、圧力、プラズマ電力、電流などの変数を微調整することができ、エッチング工程全体で所望の均一性を確保します。Plasmalabのソフトウェアインターフェイスは直感的で使いやすいように設計されています。使いやすい選択肢が用意されたメニューベースのユニットで、ユーザーはリアルタイムでパラメータを監視し、即座に調整することができます。また、プリセットプログラムの組み込みライブラリも備えており、ユーザーはエッチング条件を迅速かつ正確に最適化して特定の基板の要件を満たすことができます。OXFORD Plasmalab 80 Plusには、エッチングプロセスをさらに最適化し、ユーザー固有のエッチングのニーズを満たすためのさまざまなアクセサリーも含まれています。これには、安全ロックアウトキー、ウェーハチャック、ウェーハの安全な逆荷重のためのホールドフレーム、およびチャンバー外からパラメータを調整するためのリモコンが含まれます。さらに、オプションのアクセサリーを幅広くアップグレードして、エッチング工程をさらにカスタマイズすることができます。これには、水中エッチング用のウェットベンチ、エッチング工程に動的な温度変化を加えるための温度制御ワークステーションが含まれます。全体的に、Plasmalab 80 Plusは信じられないほど信頼性の高い高度なエッチングツールであり、ユーザーにさまざまな機能と精密制御パラメータを提供し、反復可能で均一な仕上げの高品位サンプルを生成します。直感的なソフトウェアと包括的なアクセサリにより、ユーザーは正確なアプリケーションニーズに合わせてエッチングプロセスをさらにカスタマイズできます。
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