中古 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293668719 を販売中

OXFORD Plasmalab 80 Plusは、ウェハレベルのパッケージング、プリント基板加工、MEMS加工などのハイテク用途向けのサブハーフミクロン微細金属パターンの製造用に設計された最先端のアッシャー/エッチャーです。本装置は、リアクティブイオンエッチング（RIE）とプラズマ強化化学蒸着（PECVD）という2つの技術を用いて、同時にエッチング、蒸着、エッチング、蒸着を行います。RIEの技術は高精度でエッチングすることができますが、PECVDは正確な厚さのフィルムを堆積するために使用されます。Plasmalab 80 Plusにはデュアルイオン源が搭載されており、多種多様な材料の超精密エッチングが可能です。このエッチャーには、ハイテク電動ステージと温度適応真空が装備されており、正確で再現可能なエッチングと蒸着結果を保証します。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、さまざまなエッチングおよび堆積作業のための多種多様なプロセスレシピを提供し、ガス混合システム、ならびにエッチングおよび堆積プロセスを制御および監視するための統合されたソフトウェアおよびハードウェアを装備しています。Plasmalab 80 Plusは、洗練された制御ユニットを備えており、最大200mmのウエハサイズまで処理できます。エッチャーは操作が簡単で、プロセスとレシピの迅速なセットアップと変更を可能にします。最後に、OXFORD Plasmalab 80 Plusは、複雑で高度なプロジェクトを引き受けることができるエッチャー/蒸着機を必要とするラボに最適です。