中古 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293660207 を販売中
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OXFORD Plasmalab 80 Plusは、高性能で自動化されたプラズマエッチャーとアッシャーです。これは、高品質で再現性の高い結果を持つ複雑な構造上の優れたプラズマエッチング性能を提供します。Plasmalab 80 Plusには、高出力のECRソースと、速度と精度のための電動ステージが装備されており、幅広い材料に適しています。Oxfod OXFORD Plasmalab 80 Plusの強力な電動ステージは、最大100 mm/sのスキャン速度と1 µmのステップサイズを実現できます。高度な制御装置は、優れた再現性とウェーハ全体のエッチング速度の均一性を保証します。Plasmalab 80 Plusは、マイクロストラクチャーを効率的にエッチングするための低圧閉ループシステムも備えています。低圧ユニットの精密な動作により、より小さな特徴を精密にエッチングし、粒子沈着を最小限に抑えます。OXFORD Plasmalab 80 Plusには、エッチング時のウェーハへの熱応力を最小限に抑える高効率冷却機が搭載されています。このツールは、デバイスのより長い耐用年数とより高いエッチング性能を促進するのに役立ちます。Plasmalab 80 Plusには、複数のガスの流れを正確にエッチングするように設計された自動ガス供給アセットも装備されています。エッチング工程を最適化し、材料ロスを最小限に抑え、生産時間を短縮します。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、エッチングプロセスの簡単なプログラミングと制御を可能にするソフトウェア制御装置も備えています。オンボードシステムは、システム制御の改善、高精度、およびエッチングの高速化を可能にします。Plasmalab 80 Plusは、高度で信頼性が高く、使いやすいプラズマエッチングユニットです。高精度で再現性のある幅広い素材に優れたエッチング性能を発揮します。小規模・大規模生産運転や部品ごとの低コスト・エッチングに最適な機械です。
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