中古 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293616592 を販売中

OXFORD Plasmalab 80 Plusは、さまざまなマイクロエレクトロニクス部品の製造に使用されるプロのエッチングおよびアッシング機器です。この装置は、生産プロセスにおいて比類のないレベルの精度とスピードをユーザーに提供します。Plasmalab 80 Plusは、最新のプラズマ生成チャンバーを使用して反応性イオンを生成します。これらのイオンがエッチングまたはアッシュされた材料に接触すると、基材と望ましい表面の間のガンマ層は迅速かつ正確に溶解されます。これにより、エッチングとアッシングのプロセスが従来の方法よりも効率的で正確かつ正確になります。OXFORD Plasmalab 80 Plusには25ミクロンのプラズマ源が含まれており、0〜1000ワット、最大30°Cの温度設定が可能です。基板材料の条件に応じて毎分最大1ミクロンのエッチング速度を達成でき、最小ピッチ浸食は2000ナノメートルです。また、エッチングやアッシングプロセスの温度を基材に合わせて調整できる温度制御ユニットも搭載しています。これにより、製造プロセスの精度と精度を正確に制御することができます。Plasmalab 80 Plusのプロセスガスシステムは、酸素（O2）、塩酸（HCl）、六フッ化硫黄（SF6）、三フッ化窒素（NF3）などの様々な気体元素で構成されており、異なる基材の特定のプロセス要件を満たすために使用することができます。また、素材を傷つけることなく、素材を素早くエッチング・アッシング加工環境に配置できる真空ユニットを搭載しています。これにより、製造工程の安全性と精度が向上します。全体として、OXFORD Plasmalab 80 Plusは、廃棄物を最小限に抑えて正確で正確な結果を生み出す高精度で効率的なエッチングおよびアッシング機です。その詳細な運用機能と包括的な設計により、さまざまなマイクロエレクトロニクス製造プロセスに適しています。