中古 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293607498 を販売中

OXFORD Plasmalab 80 Plusは、分析のためのサンプルを調製するためのエッチングおよびアッシングツールです。サンプル表面から材料層を高精度に除去するために、プラズマエッチングとアッシングの両方をサポートしています。Si、 GaAs、 InPなどの異なる材料のエッチングおよびアッシング処理をサポートできます。エッチャーには専用のPlasmaEtch Sourceが装備されており、自動補償、ロードマッチング、およびその他のパフォーマンス向上機能の最適化レベルを提供し、一貫して高い生産性とプロセス品質を保証します。統合されたウェハチャック設計により、PlasmaEtch Sourceはサンプルの効率的なアライメントとエッチングガスおよびナノ秒パルスプラズマ電力の迅速な転送を可能にします。ウエハチャックのデザインは、直径8インチまでのさまざまなサンプルサイズをサポートしています。エッチング処理は、エッチング環境の清潔さを維持するためにEMIフィルタを備えた低圧高温プラズマチャンバーで行われます。このチャンバーには、排ガス回収と最大エッチング歩留まりのリサイクル機能を可能にする、in-situガスクラバーも装備されています。さらに、このチャンバーは、正確で再現性のあるプロセス制御のために、現場で自動化されたセンサーを備えています。エッチングプロセスは、すべての安全パラメータが満たされるまでプロセスの開始を禁止する高度な安全システムによって補完されます。アッシングプロセスは、技術的に高度な「シングルアッシュソース」を採用しています。TMAHアッシングとRCA-1クリーンアッシングの両方をサポートしています。「シングルアッシュソース」は、エッチング温度の追加制御と、灰プロセスの安定性を提供します。このシステムは、必要に応じて、温度回復と排気ガスのリサイクルのための統合ガスクラバーも備えています。Plasmalab 80 Plusは直感的なソフトウェアインターフェイスも備えており、効果的なプロセス設定と制御を提供します。そのグラフィカルユーザーインターフェイスを通じて、プロセスレシピを簡単に作成、編集、監視、リアルタイムで調整することができます。ソフトウェアはまた、簡単な共有とプロセスの最適化のために、便利なデータストレージとエクスポートを可能にします。OXFORD Plasmalab 80 Plusは、さまざまな材料のエッチングおよびアッシング処理を実行するための理想的なツールです。その洗練された技術と包括的なソフトウェアスイートは、さまざまな製造および研究関連アプリケーションのサンプル調製に最適です。