中古 OXFORD Plasmalab 80 Plus-M #293604357 を販売中

OXFORD Plasmalab 80 Plus-Mは、低圧プラズマ環境における微細なエッチングと灰の迅速な作成を目的としたエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、さまざまな形状やサイズの基板を処理できる完全に自動化された汎用性の高いユニットです。この機械は、真空チャンバーと複数のガス源に直接接続するガス供給ツールで構成されており、複数のプロセス条件を維持することができます。Plasmalab 80 Plus-Mは、高周波電源を使用した容量結合プラズマ（CCP）源を使用して、エッチングとアッシング処理を可能にします。酸素、窒素、アルゴン、フルオロカーボン、炭化水素などのガスは、高分解能のエッチングとアッシングを容易にするために圧力とパワーレベルの範囲と一緒に使用することができます。このアセットには、プログラム可能なターンテーブルが装備されており、複数の基板の便利な積み込みと処理が可能です。蒸着の均一性は、Arduinoマイクロコントローラを内蔵した対称蒸着シールドによって高められ、精密なガス流量制御が可能です。このモデルのエネルギー利用は、コイル焼入技術と高速サイクルタイムを通じて最大化されており、これは30 msとなる可能性があります。また、装置には、蒸着条件、室温および清浄度を監視するための監視システムが装備されています。OXFORD Plasmalab 80 Plus-Mは、高精度、信頼性、再現性の高いプロセス結果に最適なソリューションです。