中古 OXFORD Plasmalab 133 Plus #293760250 を販売中

OXFORD Plasmalab 133 Plusは、産業用エッチングおよびアッシング用途に使用されるプラズマエッチング/アッシャー装置です。高出力マイクロ波プラズマ源と高度なエッチングとアッシング技術を組み合わせています。このシステムは、200mmのプラズマプロセッサをベースにしており、高解像度の熱処理とプラズマプロセスの結果を生成することができます。このユニットは、異方性制御の広い範囲を提供し、ユーザーは非常に精密なエッチングとアッシングの結果を達成することができます。Plasmalab 133 Plusは、幅広い機能を提供しています。アスペクト比の高い加工材料に使用できる1,200 µm均一分解能を備えています。それは非常に高精度の厚さの200nmまでのドーピング/undoping層が可能です。さらに、アルミニウムと銅の成膜、陽極酸化、スクリーン印刷、スピンオン非導電誘電体、スパッタエッチング用のさまざまな代替プロセスソースを備えています。安全性に関しては、OXFORD Plasmalab 133 Plusは厳格な安全基準を満たすように設計されています。圧力、温度、および安全パラメータを監視し、継続的かつ安全な動作を保証するInterlock-Netセーフティシステムを備えています。また、有害物質の影響を低減し、環境規制の遵守を確実にするための低エンドエキゾーストマネジメントマシンを備えています。Plasmalab 133 Plusは、生産性の面では、1時間あたり最大700ウェーハの高スループットを提供します。自動化されたプロセスパラメータ、プロセスレシピプログラミング、ウェハレベルの条件の監視などの高度なプロセス制御機能も備えています。さらに、ユーザーが幅広いプロセスメトリックを表示できるグラフィックスユーザーインターフェイスが組み込まれています。OXFORD Plasmalab 133 Plusは半導体産業のための高度で、非常に敏感なエッチングおよびashing用具です。これは、ユーザーが最小限の労力で非常に正確な結果を達成することを可能にする機能とツールの印象的なセットで設計されています。