中古 OXFORD Plasmalab 133-ICP 380 #293690524 を販売中

OXFORD Plasmalab 133-ICP 380は、さまざまな材料の高精度マイクロマシニングを可能にするように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。最大380Wの定格出力を持つ可変周波数ICP電源を搭載し、高速スパッタエッチング速度を発生させ、優れたプロセス再現性とスループットの向上を実現します。この装置はデュアルプラズマ機能を備えており、標準的なリアクティブイオンエッチング（RIE）およびリモートプラズマエッチング（RPE）技術を可能にします。OXFORD PLASMALAB 133 ICP380には真空チャンバーとポンピングシステムが装備されており、ユーザーは非常に高い真空レベルを達成することができます。このユニットには、オープンロードのロックされたプロセスチャンバー設計が付属しているため、高速で信頼性の高いエッチプロトコルが可能です。このマシンには、小型で低コストのICP電源が含まれているため、外部電源の必要はありません。これは、長いサービス寿命と堅牢なパフォーマンスを提供します。さらに、PLASMALAB 133 ICP 380には、完全にカスタマイズ可能なガス供給ツールも用意されており、エッチングプロセスを完全に制御できます。これには、さまざまな自動バルブ制御およびメータリングユニット、および遠隔で監視および調整できるマルチチャンネルガス制御アセットが含まれます。これにより、プロセスの再現性と再現性が保証されます。オンボードソフトウェアパッケージを使用すると、プロセス中に重要なエッチングおよび堆積パラメータをすべて監視、制御、およびログ記録できます。このソフトウェアパッケージはIPCラボ管理モデルと完全に互換性があり、長期的なプロセスで複雑な実験を完全に監視および制御できます。最後に、OXFORD PLASMALAB 133 ICP 380には、自動シャットオフスイッチやパージ装置などのさまざまな安全機能も装備されています。これにより、運転中の高い安全性が確保され、事故や汚染から保護されます。全体として、PLASMALAB 133-ICP 380は、最大のプロセス制御、精度、およびスループットを提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。