中古 OXFORD Plasmalab 100 #9364612 を販売中

OXFORD Plasmalab 100
ID: 9364612
ウェーハサイズ: 2"-6"
PECVD System, 2"-6".
OXFORD Plasmalab 100は、精密プラズマ処理用に特別に設計された高度なエッチャーおよびアッシャーです。これは、ユーザーがより正確な処理結果を達成することを可能にする機能の広い範囲を提供しています。エッチャーは金属およびプラスチックの組合せから造られ、4500°C。までの温度に達することができる高い発電のサンプルホールダーを含んでいます。組み込みソフトウェアは使いやすく、ユーザーにプロセスの温度、圧力、電力、および総エッチング時間を完全に制御することができます。アッシャーのエッチング面積は150mmで、高圧作動範囲は0〜450mtorrです。冷却されたPyrex®チャンバーがあり、Oリングのシールで密閉され、避難しません。これにより、加工精度が向上し、エッチング率が最大化されます。さらに、エッチャーにはファラデーケージ付きの高い抵抗シールドが内蔵されており、干渉や円弧を抑制しながら、長距離保護を実現しています。また、空気ろ過システムと低温の酸化防止コーティングを内蔵しており、処理汚染物質や粒子の蓄積を低減します。Plasmalab 100は急速な熱加速を提供し、サイクル時間を大幅に短縮します。高精度のZ高さ調整と色分けされた入出力システムにより、ユーザーは正しいプロセスステップをすばやく選択できます。また、タッチパネルを備えた直感的なデジタル制御システムを備えており、ユーザーはエッチング処理の各ステップを正確に追跡することができます。OXFORD Plasmalab 100エッチャーは、簡単なチャンバークリーンアッププロセスで最適な安全性と強度のために設計されています。最小限のメンテナンスで正確な結果を保証するために、プラズマ発生器は厳格にテストされており、その高度な設計は市場で最高の精度のプラズマ処理を提供します。
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