中古 OXFORD Plasmalab 100 #9220686 を販売中

OXFORD Plasmalab 100は、精密プラズマエッチングおよびアッシング用途向けに設計された高度なエッチングおよびアッシング装置です。このシステムは、高出力の無線周波数（RF）送電と精密なプロセス制御を組み合わせて、精密なエッチングとアッシングの結果を提供します。このユニットには、最大2kWのRF電力を提供する12インチの割り当て可能な質量集中24-GHzマグネトロン源が装備されています。この機械は過剰エッチングなしでそして重要な粒子の汚染のレベルを加えないで材料の多数の層を沈殿させることができます。プラスマラブ100は、材料調製、フォトリソグラフィー、汚染除去など、幅広い用途に対応するポストプロセスアッシングオプションを幅広く取り揃えています。このツールの電源供給とプロセス制御は、アルミニウムエッチングとアッシング、シリコンエッチングとアッシング、ガラスエッチングとアッシング、およびその他の種類のエッチングとアッシングのような幅広いエッチングとアッシングのオプションを提供します。このアセットは、ウェハテスト用のサンプルの作成、リソグラフィ、新しいウェハの作成などのアプリケーションに適しています。このモデルは、有意な粒子の浸透なしに等方性と異方性の両方としてエッチングすることができます。また、ユーザー定義のさまざまなプログラマブルパラメータを含む高度に構成可能なバッチ処理装置が装備されています。OXFORD Plasmalab 100は使いやすく、メンテナンスも簡単で、複雑なエッチングやアッシングプロセスを開発するための包括的なツールをユーザーに提供します。このシステムは、低周波ECRソース、自動フローフィードサブユニット、およびシングルコイルおよびダブルコイル加熱オプションを提供します。また、6インチx 12インチの大型ワーキングエリアを備えているため、さまざまなサンプルサイズが可能です。全体的に、Plasmalab 100は強力で信頼性の高いエッチング/アッシングツールです。精密エッチングおよびアッシング結果用に設計されており、材料調製や汚染除去からウェハテスト、リソグラフィまで、幅広い用途に適しています。