中古 OXFORD Plasmalab 100 #9097045 を販売中

OXFORD Plasmalab 100は、プラズマ処理において高性能で反復可能な結果をもたらすように設計されたエッチャー/アッシャーです。このデバイスは汎用性の高いプラットフォームを提供し、ユーザーはインライン構成とバッチ構成の両方に対応しながら、エッチングとアッシングのアプリケーションをすばやく簡単に切り替えることができます。この汎用性の高いエッチャー/アッシャー装置は、OXFORDの高度な無線周波数（RF）プラズマ源技術によって駆動されています。Plasmalab 100は、プロセス結果を迅速に最適化するための超高速レシピシステムを備えています。この機械で造られた鋼鉄部屋はデジタルPIDによって制御される均一な暖房および冷却、不活性パージおよびさまざまなプロセスレシピを特色にします。このユニットは、大気および低圧のエッチングとアッシングの両方が可能であり、最も互換性のある最適なプロセス条件が常にチャンバー内で維持されることを保証します。OXFORD Plasmalab 100の内蔵安全保護システムは包括的かつ包括的で、ユーザーが誤ってチャンバーや他のコンポーネントを損傷することを防ぎます。機械は安全な操作を保障するために過熱保護、過電流保護および安全連結システムを含んでいます。統合された発煙抽出ツールは、蒸発した媒体を安全に除去し、作業領域に入らないようにします。Plasmalab 100には、レシピ選択、ポンプ制御、コントローラ選択など、最も一般的に使用されるコマンドを自動化できる統合制御アセットもあります。この制御モデルを使用すると、マウスをクリックするだけで、さまざまなパラメータを素早く簡単にプログラムできます。さらに、この機器には、多くのシステムパラメータのリアルタイム監視と制御を提供する完全なグラフィカルユーザーインターフェイスが含まれています。OXFORD Plasmalab 100は、プラズマ処理用途での再現性を高めるために設計された、費用対効果の高い汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。このユニットは、高度なRFソース技術を活用することで、プロセスの均一性の向上や再現性の向上など、従来のエッチング方法に比べてさまざまな利点を提供します。さらに、統合された安全保護は安全な作業環境を提供しますが、内蔵の制御マシンにより、オペレータはプロセスを迅速に自動化できます。