中古 OXFORD Plasmalab 100 #293824078 を販売中

OXFORD Plasmalab 100は、高品質で高精度な静電容量結合プラズマ（CCP）結果を得ることができるエッチングおよびエッチング・リフトオフ（ELO）装置です。このシステムは、優れた側面、輪郭精度、および定義レベルを備えた高解像度の機能を生成します。Plasmalab 100は、酸化物エッチング、酸化物リフトオフフォトレジスト、および酸化物リバースエッチング工程に最適化されています。OXFORD Plasmalab 100は、一貫したプロセス時間と均一性を通じて、よりクリーンで信頼性の高いエッチングを提供する独自の小型ガス流量ユニットを利用した極めて低流量（ELF）プラズマ技術を特長としています。機械は速く、適用範囲が広い応答のさまざまな操作変数に電子的に調節することができます。Plasmalab 100には12インチの真空チャンバーが装備されており、50kHz電源を備え、信頼性の高い効率的なエッチングプロセスを提供します。OXFORD Plasmalab 100では、材料除去量に応じてエッチングチャンバーの周波数設定を動的に自動調整する自動周波数調整（AFT）機能も提供しています。これにより、ユーザーはより深いエッチング、より滑らかな壁、およびより良い寸法を達成することができます。このツールはまた、精密XYZステージ認識と直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。このGUIは、多層エッチングジョブの途中でもチャンバーパラメータを制御し、結果を複製する簡単かつ迅速な方法を提供するように設計されています。この資産には、高度なシミュレーション機能、メンテナンスされていない障害検出、および最適なプロセス性能を確保するためのチャンバーステータス監視など、包括的で包括的なプロセス制御および診断機能も含まれています。さらに、Plasmalab 100は、ビームデフォーカスセンサー、自動フォーカスチューニング、プログラム可能なビーム強度、および高度なレイヤーバイレイヤレシピビルディング機能を提供します。全体として、OXFORD Plasmalab 100は効率的で強力なエッチャーで、ユーザーに一貫して高品質の結果を提供するように設計されています。モデルの高度な機能は、プロトタイプと生産エッチングの両方のアプリケーションに最適です。