中古 OXFORD Plasmalab 100 #293810520 を販売中

OXFORD Plasmalab 100は、金属、誘電体、半導体の精密プラズマエッチング用に設計された最先端の反応イオンエッチャー（RIE）です。使いやすい機器は、優れたエッチング均一性を提供し、システムに複数のエッチングレシピを保存することにより、究極の柔軟性を提供します。プラスマラブ100には、エッチングチャンバーが装備されており、エッチングの均一性を維持することができます。チャンバーは非常に耐久性のあるステンレススチールハウジングに囲まれており、さまざまな入力と出力を取り付けるためのさまざまなコネクタが付属しています。エッチング工程は、高電圧DC電源を使用したRFジェネレータによって駆動され、反応ガス供給は一連のガスバルブとフローレギュレータによって制御されます。エッチングプロセスを開始するには、適切なエッチングレシピをコントローラにプログラミングする必要があります。このレシピでは、目的のアプリケーションに使用されるエッチングプロセスの種類（ガス、流量、圧力、電力の混合など）を決定します。コントローラはまた、複数のプリセットエッチレシピを一度に保存し、時間を節約して一貫した結果を保証することができます。優れたエッチングの均一性と再現性に加えて、OXFORD Plasmalab 100には、ユーザーの安全性を確保するために設計された多くの機能があります。これらには、機械が過熱しないように危険な蒸気と温度センサーを低減するための水冷排気ユニットが含まれます。このツールには、圧力降下やその他の緊急時に真空活性化されたシャットオフ資産も含まれています。Plasmalab 100は、さまざまなアプリケーションに適した効率的で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。OXFORD Plasmalab 100は、複数のレシピを保存する柔軟性と追加された安全機能を備え、高精度エッチングを実行するために探しているあらゆるラボに最適です。