中古 OXFORD Plasmalab 100 #293798318 を販売中

OXFORD Plasmalab 100は、あらゆる硬質材料の取り返しのつかない精密エッチングと微細な表面構造のために設計されたエッチャー/アッシャーです。この機械は、金属、合金、誘電体、ガラス、セラミック材料を含む有機材料と無機材料の両方をエッチングおよびアッシングすることができます。Plasmalab 100はフットプリントが小さいですが、直径10。25インチまでの大きなウェーハや基板に対応できます。その柔軟な設計により、幅広いプロセスパラメータを可能にします。つまり、制御された雰囲気で、超低温、中温、高温で精密な微細構造を行うことができます。OXFORD Plasmalab 100には精密マスフローコントローラ（MFC）が装備されており、正確で再現性のあるガスの流れと、システム内の圧力を正確に制御するターボ分子ポンピングシステムを提供します。積載室は機械と統合されています、速く、容易な基質のローディングおよび荷を下すことを可能にします。Plasmalab 100の統合プラズマ源は「、浮遊電極」技術を利用したRFおよびDCプラズマを生成することができます。この技術により、OXFORD Plasmalab 100は極めて低く制御されたプラズマ密度を生成し、微細構造プロセスにおいて精度と精度の高いnec-essaryを提供することができます。プラズマラブ100はディープエッチング機能も備えており、様々な深さや形状の特徴や構造を再現可能な結果で確実に生成することができます。また、ドーピングまたは成膜による表面改質にも使用でき、材料の望ましい特性をさらに高めることができます。OXFORD Plasmalab 100は、各ランで最高の結果を達成するために、オンボードプロセスの監視と制御を備えています。高度なプロセス制御システムを使用することで、機械の操作をリアルタイムで密接に監視および調整することができます。これは、高品質で再現性のあるプロセスと信頼性の高い結果を保証するのに役立ちます。Plasmalab 100の機能を最大限に引き出すために、このマシンは、前面および後処理のハードウェアの広い範囲と完全に互換性があります。フォトリソグラフィ、X線回折（XRD）、二次イオン質量分析（SIMS）、表面力顕微鏡（SFM）、光学イメージングなどの技術を使用して、結果のパターンを監視および分析することができます。結論として、OXFORD Plasmalab 100は、柔軟な設計と幅広い機能を備えた高精度エッチャー/アッシャーです。統合されたプラズマ源とモニタリングシステムにより、再現性のある低温で最高品質の結果を得ることができます。また、様々な外部ハードウェアとの互換性のため、生成されたパターンを監視および分析することが可能です。