中古 OXFORD Plasmalab 100 #293743445 を販売中

OXFORD Plasmalab 100は、幅広い研究および産業用途に最適な高度なエッチャー/アッシャーです。最先端の技術により、精密で精密なエッチングとアッシング機能を研究開発室に提供します。このエッチャー/アッシャーは、強力な200ワットのRFジェネレータを備えており、高エッチングと灰レートを実現します。その完全に統合された、使いやすい制御ソフトウェアは、エッチングと灰のパラメータを簡単に選択することができます。さらに、大型で直感的な16インチフルカラーのタッチスクリーンディスプレイをシステム化し、エッチングおよびアッシング処理の進行を簡単に制御および監視できます。Plasmalab 100は、エッチングとアッシングのさまざまなオプションも提供しています。幅広い基板材料をサポートし、堅牢なプラットフォームにより、高出力アプリケーションに最適です。また、ウェーハ、ダイ、セラミック基板などのパターン基板のエッチングにも使用でき、さまざまな機能サイズと深さを生成できます。これにより、さまざまな産業、マイクロエレクトロニクス、半導体、および生物学研究アプリケーションに適しています。このシステムは、絶対に再現可能で再現性のある結果を保証するために、さまざまなプロセス制御機能を提供します。マニュアルと自動化されたエッチングとアッシュコントロールの両方を提供し、エッチングとアッシュレートを正確に制御できます。さらに、ユニークな乱流イオン化プラズマ（TIP）源を持ち、プロセスパラメータを変更すると迅速な応答が得られ、ユニット室全体で非常に均質なプラズマが得られます。また、均一なガス分布を確保し、粒子形成を低減することができますガスシャワーを備えています。OXFORD Plasmalab 100は、エッチングおよびアッシング工程で発生する熱を効率的に除去するデュアル冷却プラテンも備えています。非常に高いエッチングまたは灰の速度のために、それは速い冷却機械、および80％まで冷却容量を高める改善された冷却部品を提供します。その高度な安全機能には、安全エンクロージャと緊急停止スイッチが含まれています。それは証明されるセリウムであり、2つの異なったモデルで利用できます-1つは産業使用のために、もう1つは実験室の使用のために。最後に、部品、人件費、旅行費をカバーする2年間の保証が付属しています。