中古 OXFORD Plasmalab 100 #293666727 を販売中

OXFORDプラズマラブ100（略してP100）は、プラズマエッチングや加工に使用される高度なプラズマエッチャーまたはアッシャーです。コンピュータ制御のプラズマ処理を使用して、基板やウェーハから材料をエッチング、プロファイル、または除去する完全自動化された6軸ロボットアームシステムです。P100は、大型ロボットアームアセンブリ内に真空チャンバーと消耗品を備えています。真空チャンバーは、加工される材料の最大均一性と最小滞留時間を考慮して設計されています。このチャンバーは、汚染を防ぎ、プラズマ処理中に低いイオン汚染を維持するために圧力密閉されています。これにより、幅広いアプリケーションで一貫して高品質のエッチング結果が保証されます。P100は、高解像度CCDカメラと高精度の容量結合プラズマ（CCP）エッチングを備えており、クロス汚染の発生を低減し、製品の最高品質を保証します。使用されているプロセスに応じて、チャンバーを加圧または避難させることができます。ロボットアームアセンブリはダイヤモンドのようなコーティングが付いている高力合金から長い生命およびP100の延長使用を保障するためになされます。P100は、メインコントローラ、リモートコンソール、モニター、光学リーダーの4つのコンポーネントで構成されています。13インチのタッチスクリーンLCDを介して操作されるメインコントローラにより、プロセスパラメータとコントロールパラメータを入力できます。リモートコンソールは、Etch Tablesを実行するために使用される個別のディスプレイで、プロセスを迅速かつ簡単に制御できます。モニターを使用すると、プロセスの進行状況を確認することができます。これは、一貫した結果を生み出すために不可欠です。P100はまた、緊急停止ボタン、チャンバーベントボタン、アラームシステムなど、数多くの安全機能を備えています。これらの機能は、何も過剰処理されておらず、プロセスが低有害で有害なレベルであることを保証するためです。全体として、Plasmalab 100は、高度なロボットプラズマエッチャーとアッシャーシステムであり、リーズナブルなコストで精度の高い結果を得ることができます。ユーザーに信頼性、安全性、自動化されたエッチングプロセスを提供し、ウェーハを絶対的な精度で位置決めすることができ、多様なアプリケーションに非常に汎用性があります。