中古 OXFORD Plasmalab 100 #293656747 を販売中

OXFORD Plasmalab 100は、幅広い真空薄膜蒸着プロセスで使用するために設計されたエッチャー/デベロッパーです。このユニットは、コンパクトで耐久性のある設計を特徴とし、多くの産業および実験室の設定で使用することができます。Plasmalab 100にはさまざまな先端技術部品が搭載されており、さまざまな材料をエッチングして堆積させることができます。これには、薄膜酸化ケイ素、窒化物、アルミニウム、チタン、タングステン、および様々な金属、合金、および酸化物が含まれます。このユニットは、すべての必要なガスをポンプで送り、必要な真空圧力を作り出すための統合ポンプを備えた自己完結型のチャンバーを備えています。密閉されたチャンバー設計により、蒸着チャンバへのクリーンガスの安定供給が保証され、材料の精密で信頼性の高いエッチングと蒸着が可能です。内蔵のプログラマブル圧力コントローラにより、チャンバ内の圧力を自動的に調整し、最適なエッチング性能を実現します。OXFORD Plasmalab 100には、低電流密度プロセスから高電流密度プロセスまで、幅広いエッチングレシピを駆動するために必要な電力を供給することができる4kWの巨大な電源が装備されています。調整可能なイオンソースにより、ユーザーはエッチングまたは開発中の材料にイオンビームを調整することができます。これには、エネルギーと電流密度を調整する機能と、同じサイズと深さの均一な特徴をエッチングするための重要なパラメータであるスポットサイズが含まれます。また、中圧・低圧設定も備えており、材料の種類やエッチングの深さに応じてユーザーが調整する必要があります。オンボード診断は、リアルタイムでエッチング中にガスの流れ、チャンバー圧力、イオンビームパラメータなどを表示します。これにより、エッチングプロセスの完全な制御と監視が可能になります。Plasmalab 100は取付け、使用すること容易である信頼でき、堅牢な単位です。そのシンプルなユーザーコントロールパネルは、特定のエッチングのニーズに合わせて調整することができ、必要なすべてのツールにすばやくアクセスできます。同時に、可燃性ガスなどの危険物が安全かつ責任を持って使用されることを保証するための高度な安全制御メカニズムを備えています。