中古 OXFORD Plasmalab 100 #293651867 を販売中

OXFORD Plasmalab 100は、ハードとソフトの両方の材料を処理するために特別に設計された、先進的な次世代のエッチャー/アッシャーです。このシングルチャンバー装置は、プラズマによるエッチングと酸素ベースのリアクタントガスによるアッシングの両方が可能です。このプラズマラブ100には、直接流量ベースの低圧プラズマ源と、さまざまな動作ガスに対応できる高出力リモートプラズマ源が装備されています。OXFORDプラズマラブ100は、高分子、金属、半導体材料を含むすべての材料の非常に精密なプラズマエッチングにも使用でき、ほぼすべてのエッチング用途を可能にします。Plasmalab 100は、基板表面全体のエッチング率を均一にするユニークな統合電気チャックや、樹脂ペレットを大量または小片に効率的にチャンバーに積み込むことを可能にする供給システムなど、多くの利点を提供します。さらに、直感的なユーザーインターフェイスを備えたOXFORD Plasmalab 100は、最大4つのエッチングレシピを同時にサポートし、大規模な製造作業を可能にします。さらに、Plasmalab 100には、幅広いプラズマケミストリーから10nm以下のサイズのプラズマケミストリーを組み合わせることができるデュアル圧力デュアルガスユニットが搭載されており、業界全体の最先端の製造プロセスを可能にします。機械の優れた制御機能により、反復可能な結果が生成されます。安全と環境保護のために、OXFORD Plasmalab 100は、自動安全弁、火災安全、ガス遮断、短絡保護システムなど、数多くの安全機能を提供しています。さらに、Plasmalab 100は、さまざまな監視および制御機能とデータロギング機能をユーザーに提供します。これにより、ユーザーはこのエッチャー/アッシャーによって可能になる高度なエッチングおよびアッシング処理を最大限に活用できます。