中古 OXFORD Plasmalab 100 #293649326 を販売中

OXFORD Plasmalab 100は、OXFORD Instrumentsのエッチングおよびアッシング機器です。半導体解析のサンプル調製に最適なコンパクトなオールインワンシステムです。優れた性能、柔軟性、処理時間の短縮を実現します。Plasmalab 100には、2つの独立したプロセスチャンバーを備えたシンプルでユーザーフレンドリーな制御インターフェイスがあり、シーケンシャル処理に最適です。エッチングやアッシング圧力、温度、ガスの流れなど、幅広いパラメータをフロントパネルやリモートソフトウェアから簡単に調整できます。単位は残余の最低量の非常に高いエッチング率を作り出すことができる。デュアルチャンバー並列処理により、複数のサンプルを効率的に処理できます。この機械は-40°C〜350°Cのアクティブ温度範囲を持ち、有機材料と無機材料の両方を処理できます。OXFORD Plasmalab 100には、イオンゲージとターボポンプベースの真空ツールが内蔵されており、長期的な高真空運転が可能です。さらに、この資産にはさまざまなアクセサリーが付属しており、過温度や過圧保護などの複数の安全機能、およびガス流量警告モデルがあります。内蔵のデータロギングおよびアーカイブソフトウェアは、トレーサビリティを保証し、さらなる分析のための貴重なデータを提供します。Plasmalab 100は、MEMSデバイスのサンプル調製、成膜エッチング、表面洗浄、酸化デバイスのエッチングなど、半導体分析におけるさまざまな用途に最適なツールです。この装置は、高信頼性の結果を持つ幅広いサンプル分析に優れたツールを提供します。