中古 OXFORD NPT1000 PE #293597503 を販売中

OXFORD NPT1000 PE
ID: 293597503
Reactive Ion Etcher (RIE) Cluster system.
OXFORD NPT1000 PEは、ポリイミド基板をはじめ、ウェットまたはドライエッチング用途向けに設計された、先進的なトランスポータブルエッチャー/エイサーです。このユニットは、安定した低温プラットフォームを提供し、信頼性の高いエッチング性能を提供する堅牢な鋼構造を備えています。NPT1000 PEは、エッチング温度を急速に安定させる高性能ヒーターを備え、最大+160°Cの温度範囲を備えています。精密温度制御は、現在の温度設定を示すデジタルディスプレイによって提供され、1°Cステップの精密セットポイントが含まれています。エッチングプロセスは、ユーザーフレンドリーなコントロールパネルと、UV-CおよびUV光源を使用してエッチングプロセスを正確に測定する独自の光学センサー精度で正確に制御できます。これにより、エッチング時間と温度の正確なバリエーションが可能になり、非常に信頼性の高いエッチング結果が得られます。ワークステーションには、高温(>180°C)エッチングプロセス用に設計されたパルスエッチモードもあります。パルスエッチパターンの使用は、エッチング温度を低減し、プロセスの安全性を高め、スループットを向上させるのに役立ちます。OXFORD NPT1000 PEは非常にユーザーフレンドリーで、インストールとメンテナンスが簡単で、多言語のユーザーとサービスサポートを備えています。Machine Insight™ (MI)スイートは、デバイスのパフォーマンスとエッチング処理を監視するために利用可能で、Imaging DeviceおよびMachine Insightアプリケーションソフトウェアの追加サポートを提供します。MIスイートは、エッチングプロセスを観察し、マシンの現在のステータスに基づいてユーザーにフィードバックを提供するように設計されています。この包括的な予測ソフトウェアスイートは、プロセスの問題を特定し、できるだけ早く是正措置を講じるのに役立ち、時間とリソースを節約できます。NPT1000 PEには、エッチング工程中に基板を所定の位置に保持するのに役立つイオンリフトピン機構、サンプルのずれを防ぐためのアンチチルトプラテン、乾燥とウェットプロセスの両方を同時に使用できるデュアルガスコントロールマニホールドなど、さまざまなオプションと機能が統合されています。エッチプロセスは、オプションのPAP (Process Automation Package)で自動化することもでき、幅広いエッチプロセスに最適化されたレシピを提供します。OXFORD NPT1000 PEは、ユーザーフレンドリーで輸送可能な設計に加えて、安全で効率的な操作のために設計されています。このユニットには、環境汚染を最小限に抑え、オペレータの安全性を最大化するように設計された過熱保護およびプロセスセキュリティシステムが装備されています。このエッチャー/aserは、ポリイミド基板およびその他のさまざまな基板の迅速で高精度なエッチングに理想的な選択肢です。
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