中古 OXFORD / LANCER 1000 #126491 を販売中

OXFORD/LANCER 1000は、精密なプラズマエッチングとアッシングのために設計された高度なエッチャー/アッシャー機です。独自のプロセス制御技術を使用して、広い領域と高速サイクルタイムで優れたエッチング均一性を実現し、より小さな領域での精密エッチングとアッシングを実現します。これらの機能を組み合わせることで、OXFORD 1000はフォトマスク製造、マイクロマシニング、その他の精密プロセスでの使用に最適なツールとなります。LANCER 1000は、プラズマ源を正確に移動するための三軸アームを備えています。システムのダウンタイムを最小限に抑えるための効率的なガス供給装置、基板全体にわたって正確なプラズマ分布を保証する高解像度イメージング検出器、最大作業面積1000 x 1000mmを備えています。パワフルなコントロールユニットにより、エッチングとアッシングプロセスの両方において、電源と圧力の独立した制御が可能になり、プロセスの正確な制御が保証されます。OXFORD/LANCER 1000は、シリコンウェーハやMEMSデバイスなど、さまざまな材料に対して厳格なプロセス制御と均一性を提供するように設計されています。生産環境に適した高いプロセススループットと、効率的な運用によりトータルコストを低減します。また、様々な室内プラズマ源との互換性を考慮して設計されており、幅広い研究および産業用途に対応できます。OXFORD 1000に搭載された堅牢なソフトウェアは、使いやすいグラフィカルなプログラミング言語で、エッチングとアッシングのプロセスを簡単かつ正確にプログラミングできます。これには、圧力、温度、エネルギー消費量のリアルタイム監視などの安全機能が組み込まれています。さらに、ソフトウェア拡張キットは、カスタマイズされたプロセスシーケンスやその他の高度な要件をサポートするためにツールを拡張するために利用できます。全体的に、LANCER 1000は幅広いエッチングおよびアッシング用途向けに設計されており、高い生産性で正確なエッチングとアッシングを行うことができます。様々な基板材料に適しており、プログラムが容易なソフトウェアにより、実験または生産アプリケーションに取り組む科学者、エンジニア、技術者に最適です。