中古 OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus #293586570 を販売中
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ID: 293586570
Reactive Ion Etcher (RIE)
ALCATEL ACT-600T Turbo pump controller
Power: 208 VAC, 3 Phase.
OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plusは、幅広い研究および生産アプリケーション向けに設計された強力なプラズマエッチャーおよびアッシャーです。複数のガスデリバリーシステムを利用して、ウェットとドライエッチングの両方に適した柔軟で高度に制御されたエッチング処理を提供します。精密で高品質な結果を最短時間で一貫して提供するように設計されています。Plasmalab 800 Plusは、シリコン、ガラス、セラミックス、炭化ケイ素、ポリマー材料など、さまざまな基板に適しています。また、金属等のプラズマエッチングにも対応しています。エッチャーは、さまざまなエッチング要件に応じてさまざまなエッチング段階を最適に管理することができます。OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plusは、プラズマソースアクチュエータ（PSA）、 DCバイアス付きのエンドサーマルエッチングステーション、あらかじめプログラムされたステージ移動、タイミングシーケンスの微調整のためのVCRインターフェース、リモートコントロールパソコン用のインターフェース。さらに、低圧と高圧の両方のエッチングが可能で、プロセスパラメータを細かく制御できます。Plasmalab 800 Plusのユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスは、あらかじめプログラムされたタイマー、レシピ制御、定期的なプロセス制御など、豊富な機能を備えています。これにより、エッチングプロセスの完全な再現性が可能になり、ユーザーはより高い効率で一貫した結果を達成することができます。さらに、OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plusは、各ツールからの温度および圧力測定、およびプラズマソースアクチュエータ（PSA）からのフィードバックなど、幅広いプロセス監視を提供します。さらに、Plasmalab 800 Plusは革新的なモジュラー設計を備えており、追加のハードウェアアップグレードにより機能を拡張できます。最終的に、OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plusは、さまざまな研究および生産アプリケーションのニーズに簡単に適応できる最先端のエッチングソリューションを提供します。
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