中古 OXFORD INSTRUMENTS PlasmaLab 80 Plus #293824941 を販売中

OXFORD INSTRUMENTS PlasmaLab 80 Plusは、研究および生産環境における幅広いサンプルを正確かつ効率的に処理するために設計された高度なプラズマエッチャー/アッシャー装置です。PlasmaLab 80 Plusは、オックスフォードインスツルメンツのプラズマ加工技術の専門知識を基盤に、優れた性能と柔軟性を提供するために最先端の機能と革新的な設計要素を取り入れています。OXFORD INSTRUMENTS PlasmaLab 80 Plusの中心にある高密度プラズマ源は、優れた選択性とプロセス制御を備えた非常に異方性エッチング/アッシングプロファイルを提供できる均一で安定したプラズマを生成します。このシステムには、複数のガス噴射ポートと洗練されたガス供給ユニットが装備されており、ユーザーはさまざまな材料や構造のための望ましいエッチング特性を達成するためにプロセスパラメータを調整することができます。PlasmaLab 80 Plusは広々としたプロセスチャンバーを備えており、大きなウェーハ処理能力を備えているため、高スループットのアプリケーションで複数のサンプルを1回の実行で処理できます。このチャンバーには高度な温度制御および圧力レギュレーションシステムが装備されており、エッチング/アッシングサイクル全体でプロセス条件を最適なレベルで維持し、サンプル表面全体で再現性のある結果と優れた均一性を保証します。OXFORD INSTRUMENTS PlasmaLab 80 Plusの主要な強みの1つは、高度なプロセス監視および制御機能です。このマシンには、光放射分光法（OES）、質量分析法、レーザー干渉計など、包括的なin-situ診断ツールが装備されており、処理中のプラズマパラメータとガス化学をリアルタイムで監視できます。これにより、ユーザーはオンザフライでプロセス条件を最適化し、所望のエッチング結果を達成するための調整を行うことができます。さらに、PlasmaLab 80 PlusはOXFORD INSTRUMENTS直感的なプロセスコントロールソフトウェアと完全に統合されており、プロセスレシピの設定、プロセスパラメータの監視、データのリアルタイム分析を行うためのユーザーフレンドリーなインターフェースを提供します。ソフトウェアはまた、包括的なプロセス最適化と品質管理のための高度なデータロギングと分析ツールを提供しています。OXFORD INSTRUMENTS PlasmaLab 80 Plusは、プラズマエッチング/アッシングの高度な機能に加えて、リアクティブイオンエッチング（RIE）、ディープシリコンエッチング、ポリマー除去、表面改質など、幅広い用途に簡単に設定できます。このツールは、CF4、 SF6、 O2、 Ar、 Cl2などのさまざまなプロセスガスをサポートしているため、シリコン、二酸化ケイ素、金属、ポリマー、化合物半導体など、さまざまな材料の処理に適しています。全体として、PlasmaLab 80 Plusは汎用性に優れた強力なプラズマエッチャー/アッシャー資産であり、要求の厳しい研究および生産アプリケーションに比類のない性能、柔軟性、および制御を提供します。OXFORD INSTRUMENTS PlasmaLab 80 Plusは、高度な機能、直感的なソフトウェアインターフェース、堅牢な設計により、高品質のエッチング結果を達成し、半導体デバイス製造、MEMS/NEMS開発、および先端材料研究の革新を加速するための不可欠です。