中古 OXFORD INSTRUMENTS Opal #293759975 を販売中
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ID: 293759975
ウェーハサイズ: 4"
ヴィンテージ: 2015
Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD) system, 4"
Mass Flow Controller 1: H2 50 SCCM
Mass Flow Controller 2: NH3 100 SCCM
Mass Flow Controller 3: N2 100 SCCM
Mass Flow Controller 4: O2 100 SCCM
Mass Flow Controller 5: Ar 100 SCCM
Substrate holder: 240 mm resistance-heated (up to 400°C)
Remote Plasma source: 300 W Capacity at 13.56 MHz (RF generator and automatic matching unit)
Metal precursors delivery: (2) Bubblers and (2) vapor drawns
Gas lines: Non-toxic gas lines (3 lines) and toxic gas lines (2 lines) with individual Mass Flow Controller (MFC)
Water delivery kit
Ozone generator
Vacuum gauges: 1000mT CM gauge and Penning
Pumping pipe work: 40 mm (heating kit)
Materials tested: Al2O3 films only with Ar, O2, TMA
TMA Precursor
Silicon wafer
PC
Operating system: Windows 7 Pro
2015 vintage.
オックスフォードインスツルメンツオパールは、半導体、MEMS、ナノテクノロジー業界の幅広い用途に高度な処理能力を提供するために設計された最先端のプラズマエッチャー/アッシャー装置です。この革新的なシステムは、最先端の技術と精密制御を組み合わせて、さまざまな材料の高精度で均一なエッチングとアッシングを実現し、研究開発ラボや生産環境に不可欠なツールとなっています。オパールユニットは、高密度プラズマ源を利用して、化学的および物理的プロセスを組み合わせて基板から材料を効果的に除去するエネルギッシュなプラズマを生成します。このプラズマ源には高度な無線周波数（RF）プラズマ技術が搭載されており、密度、温度、イオンエネルギーなどのプラズマパラメータを正確にチューニングすることで、異なる材料のエッチングとアッシング性能を最適化できます。OXFORD INSTRUMENTS Opalの重要な機能の1つは、ユーザーがリアルタイムで主要なプロセスパラメータを定義し、監視できる高度なプロセス制御機能です。このマシンにはユーザーフレンドリーなインターフェースが装備されており、幅広いプロセスレシピにアクセスでき、特定の要件を満たすためにプロセスパラメータを簡単にカスタマイズできます。このレベルの制御により、高いプロセス再現性と信頼性を実現し、バッチ後に一貫した結果を得ることができます。オパール工具はまた、シリコン、ガラス、III-V材料、ポリマーなど、さまざまな基板サイズと種類を処理することができ、高い柔軟性を提供します。このアセットには、さまざまなウェーハサイズと形状に対応した汎用性の高いウェーハチャック設計が装備されており、さまざまなアプリケーションのニーズに対応するために、単一のウェーハとバッチ処理モードの両方に対応できます。オックスフォードインスツルメンツのオパルモデルは、エッチング機能の面でも高いエッチング率と幅広い材料の選択性を実現することに優れており、パターン転送、材料除去、デバイス製造などの用途に最適です。この装置は、アスペクト比の高い異方性エッチプロファイルを生成することができ、高精度で忠実な複雑なマイクロストラクチャーの製造を可能にします。さらに、オパールシステムには、有機汚染物質やフォトレジスト残基を基板から除去するための高度なアッシング機能が装備されています。このユニットの高密度プラズマ源は、有機材料や揮発性化合物を効果的に分解し、基板に損傷を与えることなく、クリーンで残留性のない表面を残します。OXFORD INSTRUMENTS Opalは最先端のプラズマエッチャー/アッシャーマシンであり、幅広いナノテクノロジー用途において比類のない性能、精密制御、およびプロセスの柔軟性を提供します。オパールツールは、高度な技術と革新的な設計により、半導体および微細加工プロセスにおいて高品質で信頼性の高い処理結果を達成しようとする研究者やメーカーにとって強力なツールです。
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