中古 OXFORD 90 Plus #9060476 を販売中

ID: 9060476
ウェーハサイズ: 2"-8"
ヴィンテージ: 1997
RIE System, 2"-8" Load lock and main process chamber (6) MFC (BCl3, Cl2, CH4, H2, Ar, O2) PFEIFFER Turbo TPH330PC (on main chamber) PFEIFFER Turbo TMH 260C (on load lock) LEYBOLD Mechanical pumps PC & Monitor 1997 vintage.
OXFORD 90 Plusは、ナノ構造および直接書き込みエッチング用途向けに設計された高度なエッチャー/アッシャーです。金属および非金属基板の超微細エッチングのための非常に高い精度と精度を実現するように設計されています。MEMS製造、マイクロ流体、高性能PCBなどの用途に適したユニークな機能を備えています。90 Plusは、高精度かつ高精度なエッチングを保証するために、最先端のパルス発生器とデジタル電源制御ユニットを採用しています。LID (Laser Induced Direct Etching)とOHE (Optically Assisted Etching)の2つの共通モードで動作するように設計されています。OHEモードは、従来のエッチング技術と比較して、かなり高い精度と再現性を提供します。OXFORD 90 Plusの中核となるのは、UVレーザーを使用して基板に直接パターンをエッチングするダイレクトライトレーザーエッチングシステムです。レーザーの焦点スポットは非常に小さく、システムは1〜3ナノメートルまで精度を提供します。この精度は、金属や非金属材料のナノスケール構造を作成するのに理想的です。90 Plusには、柔軟性と使いやすさを高める他のいくつかの機能も装備されています。モジュラー設計、4軸スキャン機能、およびスループットを向上させる内蔵ウエハハンドリングシステムを提供します。また、完全なコンピューター制御を備えているため、ユーザーはカスタムエッチングパターンを迅速かつ簡単に作成し、プロセス設定をリモートで管理できます。OXFORD 90 Plusは、さまざまなエッチング用途で幅広くテストおよび検証されており、さまざまな微細加工作業において信頼性が高く汎用性の高い選択肢となっています。高精度なエッチングと精密なウエハハンドリング機能により、マイクロ流体、MEMS、高性能PCBに最適です。モジュラー設計とコンピュータ制御機能により、高スループット生産プロセスに適しており、レーザーを中心とした精密エッチングにより、ナノスケールエッチング用途に最適です。
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