中古 OXFORD 80 #9153430 を販売中

OXFORD 80は実験室の使用のために設計されている高度のエッチングおよびashing機械です。ゲート、損傷構造、接触穴、ドーピング面、酸化層など、さまざまなエッチングおよびアッシング用途が可能です。汎用性が高く、幅広い基板や材料に適しています。80エッチャー/アッシャーはフルオートで、ユーザーのスキルレベルに関係なく一貫した結果を提供します。エッチング/アッシングタスクの種類、エッチング方向、タスクの繰り返し回数を指定できます。このマシンのユーザーインターフェイスは非常に直感的で、エッチングとアッシングパラメータを正確に制御できます。OXFORD 80エッチャー/アッシャーは、シリコンウェーハやその他の微細構造材料の層にエッチングおよびアッシング手順を実行することができます。単一または複数のレイヤーの両方を処理でき、低電圧バイアスやマルチマスクアライメントなどの機能をサポートします。さらに、粒子のないガス源を利用して、基板への汚染や損傷を最小限に抑えます。80エッチャー/アッシャーは信頼性が高く、高いスループットで優れたプロセス再現性を提供します。独自のノズル設計を採用し、騒音低減機能を搭載し、実験室環境での騒音汚染を最小限に抑えます。このマシンのメンテナンスは、潜在的な問題を技術者に通知する視覚的インジケータと、トラブルシューティングのためのオンボード診断によって簡素化されます。さまざまな基板との整合性を確保するために、各基板タイプの温度が所望の仕様に従って調整されていることを確認するための温度監視システムも含まれています。OXFORD 80エッチャー/アッシャーは、さまざまなガスのエッチングとアッシング、制御可能なガスの流れとRFパワーレベルが可能です。また、異なる温度で複数のウェーハをサポートしているため、新しい材料やデバイスのテストに適したツールです。全体的に80エッチャー/アッシャーは、エッチングおよびアッシング作業に効率的で信頼性の高い機械です。幅広い基板・材料に適しており、高いスループットで精密加工が可能です。優れたプロセス再現性と直感的なユーザーインターフェイスを提供し、あらゆるラボに最適です。