中古 OXFORD 80 #13883 を販売中

OXFORD 80は、半導体デバイス製造産業向けに設計されたウェットエッチングプロセス装置（別名アッシャー）です。エッチングマシン、排気システム、ポンプ、コントローラの4つのコンポーネントで構成されています。80エッチングユニットは、より高い精度と剛性で、半導体ウェーハなどの材料を迅速かつ効率的に処理するように設計されています。機械の設計および部品はそれに高いスループットの速度および反復性の優秀な性能を、与えます。これは、エッチング液の均一な供給を作成し、エッチング工程で発生する圧力を制御する高圧ポンプの助けを借りて動作します。高圧ポンプは、エチャントの一貫した供給と圧力を可能にします。OXFORD 80エッチングツールには、アセットの操作を制御および管理する内蔵コントローラが装備されています。これにはタイマーと温度コントローラが含まれており、エッチングと排気プロセスを調整するために設定することができます。コントローラは、エッチングパラメータとプロセスの事前プログラミングを可能にし、また、各エッチングプロセスに関連するパラメータを保存および追跡するさまざまなデータロギング機能を提供します。80台の機械にエッチング工程の間に発生する塵、微粒子、ガスおよび発煙の蓄積を減らすのを助ける有効な排気モデルがあります。これには、プロセスチャンバーから任意の微粒子や発煙を除去するフィルターとスクラバーが含まれており、チャンバーが清潔でほこりのないままです。OXFORD 80エッチング装置には、危険な化学物質への偶発的な暴露から保護するための不動態化チャンバーや、温度が危険なレベルに達しないようにするための温度制御システムなど、さまざまな安全機能があります。さらに、すべてのコンポーネントは、エッチングプロセス中の潜在的な火花、火災、または爆発から、コンポーネント自体への損傷のリスクを低減するように設計されています。結論として、80エッチングユニットは、半導体産業のために設計された高効率、信頼性、汎用性の高い機械です。高速、繰り返しエッチングおよび排気プロセス、温度制御、データロギング機能、および安全機能を含むその機能は、あらゆる半導体デバイスの製造ニーズに最適です。