中古 OXFORD 100 + #9139601 を販売中

OXFORD 100+は、様々なガス中での蒸気相エッチングとアッシングを必要とする一般的なエレクトロニクス用途向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。100+は、セラミック発熱体と石英管を使用して、チャンバー全体に一貫した温度とガスの均一な分布を提供します。精密温度制御と正確なフロー制御アプローチを組み合わせることで、エッチングまたは蒸着パラメータの最高レベルの制御が可能になります。OXFORD 100+は、小型フットプリントにより、ハイエンドのエッチングおよびアッシング用途向けのコンパクトなソリューションを提供します。100+の設計は、電子部品や材料の簡単なエッチングとアッシングを可能にします。OXFORD 100+の部屋は反応性材料の良質の不動態化を保障する水晶から組み立てられます。水晶チューブは、基板のサイズや複雑さに関係なく、信頼性の高いエッチングとアッシングの結果を提供し、ガスの均一な分布を可能にするように設計されています。100+はまた暖房のための部屋の中心のテフロン絶縁された陶磁器の要素を利用します。ヒーターは外部電源で給電され、エッチングまたはアッシングのための一貫した温度を提供します。OXFORD 100+は、エッチングおよびアッシングプロセスの精度を保証するフロー制御装置も備えています。このシステムは、LFC （Low Flow Controller）とCFC （Constant Flow Controller）アセンブリで構成され、それぞれガス源とチャンバに接続します。LFCはガスの精密かつ一貫した計量を可能にし、CFCは一貫した内部チャンバー圧力を維持します。付加的な制御として、100+はガスの入って来ることおよび出て行く流れを管理できる流れ制御弁と利用することができます。OXFORD 100+は、エレクトロニクスプロジェクトの多くのタイプのための効果的なエッチングとアッシングソリューションです。その石英チューブ構造とテフロン絶縁セラミック素子は、一貫した温度と信頼性の高いエッチングまたはアッシングを提供します。このユニットの精度は、正確で特異なガス供給とチャンバー圧力メンテナンスを保証するフローコントロールマシンによってさらに高められています。ハイエンドのエッチングとアッシングに関しては、100+が理想的な選択です。