中古 OPTIGLOW ACE #9149592 を販売中

OPTIGLOW ACEケミカルエッチャー/アッシャーは、ウェーハやその他の基板をさまざまなアプリケーションで処理するための高度で高効率なツールです。エキシマーまたは水銀アルゴンレーザーを使用して、パターン化された溶融シリカまたは石英をウェーハやその他の基板に転送する独自の能力を持っています。6軸モーションコントローラを搭載し、高速かつ効率的に正確なエッチングパターンを保証します。ACEは、より高いスループット、改善された均一性、および/または精密パターニングを必要とするエッチングおよび/またはアッシングプロセスで使用するために設計されています。この機械の中心の部品は電磁石のトラフ/タンクです。このタンクは、一度に何百ものウェーハを支えることができ、最高の耐久性のために焼かれる高品質の鋼から作られます。この装置には、ウェーハ上のリアルタイムイメージングを提供するスキャナが含まれており、正確で正確なエッチングおよび/またはアッシングプロセスを保証するのに役立ちます。OPTIGLOW ACEは、IC、 III-Vコンポーネント、MEMS、およびウェハレベルのデバイスを含む幅広い材料にエッチングおよび/またはアッシングすることができます。フレキシブルな設計により、ライン/エリア、直交線形、環状、角形、曲線、円形、長方形などの様々なパターン形状や、光学メガネ、ポリマー、メガネなどの各種成膜/エッチング材料に使用できます。イオン注入、イオン化、リソグラフィ、物理蒸着（PVD）、金属-有機化学蒸着（MOCVD）、拡散、エッチング、アニール、アッシング、フォトレジストなど、さまざまなプロセスにも使用できます。ACEには、ユニットがスムーズに動作するようにするための安全システムが組み込まれています。可聴警報は異常な作動状態を示し、非危険物を使用する場合は無効にすることができます。このユニットは、予期しない状況が発生した場合にも自動緊急停止を提供します。このユニットはLabviewベースのソフトウェアと互換性があり、標準およびリモートシステムに統合することができます。機械はまた機械の効率そして機能を高めるように設計されているいろいろ高度の付属品および特徴が装備されています。その中には、自動セルフモニタリングツール、モーションコントローラ、データロギング機能などがあります。これらの機能により、ユニットは常にピーク性能で動作し、最高品質の結果を提供することができます。全体として、OPTIGLOW ACEは、ウェーハやその他の基板をさまざまなアプリケーションで処理するための高度で効率的なツールです。独自の機能と超高速処理により、高精度で高速な幅広いプロジェクトに対応できます。その組み込みの安全システムはユーザーを保護し、安全で効率的な操作を保証しますが、その高度な機能により、利用可能な最も先進的で汎用性の高いエッチング/アッシングマシンの1つになります。