中古 OCCLEPPO 650-97-P-150 #193947 を販売中

OCCLEPPO 650-97-P-150は、幅広い半導体のエッチングおよびアッシング処理用に設計されたバッチ式エッチャー/アッシャーです。これは、二重壁ステンレス鋼ベースの構造で構成されており、マイクロリソグラフィーアプリケーションの再現性と厳格なプロセスを可能にするために、いくつかの高度な機能が組み込まれています。その基盤は、低圧、均一な温度と均一なガスの流れを提供するように設計されています、そのチャンバーの壁は、一次および二次ヒーターだけでなく、高速バーナーが取り付けられています。これにより、加熱された材料の正確なプロセス制御が可能になります。さらに、650-97-P-150はプロセス監視用の可視性の高い石英ウィンドウで設計されています。この装置は、バルブ、フローコントローラ、および簡単なプロセスのセットアップと制御を可能にするガス混合ツールの包括的なセットと統合されています。その大きく、プログラム可能なタッチスクリーンはすべてのガスの流れ、温度および時の容易な組み立てそして制御を可能にします。内蔵の自動調整機能とデータロギング機能により、プロセスの監視と制御が非常に正確になります。さらに、OCCLEPPO 650-97-P-150システムには、2つのカートポンプと圧力レギュレータを含む手動バルブユニットに代わる高精度のものが付属しています。これにより、より正確なプロセスのためにガスの流れと圧力を調節することがはるかに容易になります。さらに650-97-P-150プロセス中にオペレータと環境を保護するための安全機能が付属しています。それはガスか化学薬品が資産を脱出しないことを保障するプロセス保護のための二重真空機械そしてエアフィルター用具を含んでいます。その他の安全性およびプロセス制御機能には、ハロカーボンリーク検出器、プロセスガス精製モデル、および空気ろ過装置があります。全体的に、OCCLEPPO 650-97-P-150は、プロセス精度と安全性の最高水準を満たすように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。半導体基板の幅広い用途向けに設計されており、包括的なプロセス制御およびシステム管理機能を備えています。エッチャー/アッシャーは、超高精度プロセスに最適です。