中古 NSC ES 371 #9144811 を販売中

NSC ES 371は、半導体製造用に設計されたエッチャー/アッシャー装置です。プラズマエッチング技術を活用して、さまざまな基板上に高精度なパターンを迅速かつ正確に作成します。このシステムは、平面フォーマットと3Dフォーマットの両方で最大150mmの基板を処理する真空電子ビームを備えています。高い均一性と高い歩留まりを提供し、精密なエッチング結果を得ることができます。ES 371は、簡単なメンテナンスとアップグレードを容易にするモジュール設計で構築されています。RIE （Reactive Ion Etch）、 ICP （Inductively Coupled Plasma）、 IBI （Ion Beam Inducement）などのプロセス手法を提供しています。これらの実装により、幅広い温度およびガス混合物に対するプロセス制御が強化されます。内蔵のオートチューニングおよびフィードバックマシンにより、超精密なプロセスチューニングと制御が可能で、エッチング効率の最大化に貢献します。このツールの動作温度範囲は柔軟で、標準動作温度は周囲温度から300°Cまでです。この温度は様々なタイプの基板に対応するために調整することができます。さらに、NSC ES 371ではさまざまな種類の昇華を行うことができ、複数のエッチング用途に最適なプラットフォームです。ES 371には、ユーザーと資産の両方を保護するためのさまざまな安全機能が装備されています。これには、異常電流および電圧レベルのモデルを継続的に監視する過負荷保護機能が含まれます。また、装置内部の漏れを検知できる水漏れ検知システムを採用しており、タイムリーな修理・メンテナンスが可能です。全体として、NSC ES 371は、高精度なアプリケーションのニーズを満たすことができる汎用性の高いエッチング/アッシングマシンです。その温度およびプロセス制御機能と堅牢な安全機能により、半導体および関連業界のアプリケーションに最適です。