中古 NOVELLUS Vector #9379236 を販売中

NOVELLUS Vectorは、NOVELLUS Systemsが多種多様な素材のエッチングとアッシングのために開発した高精度エッチャー/アッシャーです。ベクトルはサブミクロンレベル（サブ5nm）で精密エッチングとアッシングが可能です。NOVELLUSの特許取得済みの走査型電子ビーム（SEB）技術を採用し、複雑でファインピッチチップの製造に不可欠な高品質で微細なエッチングとアッシングに必要な極めて精密な電子ビームを提供します。NOVELLUS Vectorは、シングルウェーハロードロック、内部ヒートシンク、および正確な熱制御のための外部サーマルチャックも備えています。ウェーハはベクトルのロードロックチャンバーにロードされ、ビームはその表面に集中します。NOVELLUS Vectorは、高精度のスキャンパターンと超高速パルスレートを備えており、最も競争力のあるソリューションよりも高速にエッチングとアッシングを行うことができ、常に最高の解像度と品質を実現しています。さらに、VectorのSEBにより、ウェーハにエッチング材料を高精度かつ均一に適用することができます。NOVELLUS Vectorは他のNOVELLUSシステムとシームレスに連携し、高度なプロセスの自動化と統合を可能にします。Vectorに加えて、同社はAres Fast Copper Damascene Solutions、 Evolution Dielectric Etching System、 Production Eversharp etching/ashing systemも提供しています。これらのオプションは、さまざまな種類の材料のエッチング/アッシング技術を提供します。