中古 NOVELLUS Vector #9294444 を販売中

NOVELLUS Vectorは、化学機械研磨またはCMPで使用される業界をリードするエッチャー/アッシャーです。一貫して高品質の結果を生成し、さまざまなエッチングおよびCMPプロセス用に設計されています。ハードウェアとソフトウェアのユニークな組み合わせを使用して、ベクトルは、さまざまな材料にわたって一貫して高いエッチング率、化学選択性、および表面平面化を提供します。NOVELLUS Vectorは、エッチングおよび化学機械平面化（CMP）プロセスを自動化するために設計された汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。ユーザーのニーズに合わせてカスタマイズ可能なモジュラーシステムで、先進的な半導体製造に使用できるように設計されています。ベクトルは、精度と制御を保証する高度な設計とエッチング部品の数を備えています。NOVELLUS Vectorは、SiO2、窒化物およびその他の関連膜を選択した基板に堆積するためにPECVD（プラズマ強化化学蒸着）を利用しています。次に、RIE （Reactive Ion Etching）とCMP （Chemical Mechanical Polishing）技術を使用して、エッチングと平面化プロセスを完了します。ベクトルは、最大500nmの厚さの材料をエッチングおよび平面化することができ、統合されたプラズマ源とエッチング技術の最新の進歩を備えています。NOVELLUS Vectorは、プロセスパラメータを正確に制御し、エッチングプロセスを完全に自動化する独自のソフトウェアインターフェイスも備えています。これにより、ユーザーは設定を調整したり、カスタマイズされたエッチングジョブを作成したりすることができます。このソフトウェアはユーザーフレンドリーな言語で構築され、チュートリアルとオンラインサポートが含まれています。ベクトルの背後にある技術に加えて、それにまた最高レベルの信頼性および性能を提供する洗練された部屋の設計および製作があります。チャンバ部品は、CMPプロセスとエッチングプロセスの両方に対応するように設計されており、エッチングおよび平面化プロセス全体にわたって精度と精度を確保するのに役立ちます。全体として、NOVELLUS Vectorは業界をリードするエッチャー/アッシャーであり、最高品質で常に正確な結果を提供するように設計されています。それは信頼性および性能を保障するために広範囲の部屋の設計および製作と共に高度のハードウェアおよびソフトウェア技術を特色にします。ベクトルはあらゆるサイズの産業に最適で、エッチングと平面化のニーズに最適です。