中古 NOVELLUS Vector #9262780 を販売中

NOVELLUS Vectorは、優れた機能サイズ、深さ、均一性を持つ半導体デバイスの生産を可能にするように設計されたエッチャー/アッシャーです。特に、DRAMバックエンド相互接続、Contact/viaアレイ、PWB、フリップチップ基板などの超微細ピッチ製品の製造に適しています。ベクトルは、正確なマスク配置機能を備えたハイスループット機器です。高性能スキャンテーブルと高度なICPエッチングソースを中心に構築されています。このセットアップにより、エッチングプロセスを正確に調整できるため、非常に高品質な結果が得られます。高度なイメージングツールや計測ツールも用意されており、非破壊的なプロセス制御を可能にします。NOVELLUS Vectorの拡張ワーキングエンベロープにより、あらゆるサイズとジオメトリの機能を高精度にエッチングできます。ベクトルは、エッチング前に柔軟なPECVD/OCD酸化物コーティングを使用します。このコーティングは、優れた欠陥制御を提供し、最も困難な基板でも優れた適合性を確保しながら、プロセス歩留まりを最大化することができます。NOVELLUS Vectorは、デュアルレイヤー機能とブラインドビアによるエッチングも効率的です。このシステムは、抜き穴、接点、その他のフィーチャータイプをエッチングすることができ、優れた深さの均一性と細かいライン分解能を備えています。ベクトルの高度なプロセス制御により、優れた再現性と低い欠陥が保証されます。システムの高度なプロセス監視および制御機能により、サイクルタイムが大幅に短縮され、エッチングプロセスが正確な仕様に確実に保持されます。これは、利回りの向上とスクラップ率の最小化につながります。このユニットには、高度な欠陥監視および制御機能も搭載されており、従来のエッチャーと比較して優れた欠陥検出機能を提供します。全体として、NOVELLUS Vectorは優れたプロセス制御機能を備えた優れたエッチャー/アッシャーです。このマシンは、サイクル時間を大幅に短縮するのに役立ち、一貫性のある深さ推定とエッジの粗さを最小限に抑えた超微細ピッチ製品を簡単にエッチングできます。その高度なイメージングおよび計測ツールは、スクラップレートを最小限に抑えて最高品質の製品を製造することを保証します。