中古 NOVELLUS Vector #9195888 を販売中

NOVELLUS Vectorは、半導体材料のウェハレベル処理用に特別に設計された高精度エッチャー/アッシャーです。プラズマと熱エッチングの両方に使用できる高度な装置です。ベクトルは、薄膜上で非常に小さく正確な形状のパターンを生成することができますが、柔軟なスケーラビリティとスループットを提供します。プラズマエッチングとアッシングプロセスのための柔軟なプラットフォームを提供します。NOVELLUS Vectorの高度なハードウェア、ソフトウェア、光学技術は、高性能なアッシング、エッチング、クリーニングを実現します。薄膜アッシングモジュール（TFAM）は、高分解能、低エネルギー、低温アッシングなどの特殊な機能を必要とする特定の用途向けに設計された真空チャンバーです。ベクトルのメインフレームチャンバーは、最大限の柔軟性を備えた堅牢で耐久性のあるサーマルエッチングプロセスを提供します。NOVELLUS Vectorの高解像度マスクアライメントシステムにより、チャンバー内に製品とマスクを正確に配置できます。ベクトルはまた、エッチングとアッシャープロセスの高度な自動化を提供します。チャンバー条件、製品特性、プロセスパラメータの自動検出により、再現性を内蔵しています。NOVELLUS Vectorのソフトウェアには強力なグラフィックユーザーインターフェイス（GUI）が含まれており、遠隔操作、データ取得、診断のための使いやすいプラットフォームを提供します。ベクトルのマルチカセットローディングユニットは、スループット機能を拡張し、運用コストを削減します。VMS （Vacuum Management Machine）は、粒子レベルの制御に役立ち、エッチング/アッシングプロセスに高いパフォーマンスを提供します。さらに、NOVELLUS Vectorは直感的でユーザーフレンドリーで、ウェーハの損傷を軽減するための強化されたロードロッキングツールを備えています。ベクトルのプラズマエッチングとアッシャーオプションは、低サイクルタイムで一貫して高性能を提供します。さらに、NOVELLUS Vectorは、低エネルギー源で環境に優しい処理雰囲気を保証します。全体として、Vectorは非常に汎用性の高いエッチング/アッシャーであり、高精度機能、優れたスケーラビリティ、および要求の厳しいウェーハレベルプロセスのための高スループットを備えています。