中古 NOVELLUS Vector #9167159 を販売中

NOVELLUS Vectorは、精密エッチング、アッシング、および材料表面除去用途向けに設計された高精度エッチャー/アッシャーです。ベクトルは、エッチング装置とアッシングシステムという2つの機器プラットフォームを1つのツールに組み合わせることで、Si、 GaAs、石英、ガラスなどの材料をシングルステップで処理することができます。NOVELLUS Vectorはまた、高度なエッチング技術を使用しており、精度と制御のレベルが向上しています。ベクトルは、高いアスペクト比、タイトな許容パターンの再現性、および高エッチング選択性を備えたエッチングプロファイルに最適です。4"、6"、8"など、さまざまなウエハサイズを処理できます。NOVELLUS Vectorには、マイクロマシニング、微細加工、集積回路加工、金属や誘電体の成膜/エッチングなどの高度なパターニング用途に適した機能もあります。ベクトルは、高エッチング率と最適な材料選択性を確保するためにDirectedCathodne Beam技術（DCB）を使用しています。DCB技術はまた、正確で均一で再現性の高いパターンプロファイルを保証します。NOVELLUSベクターユーザーは、エッチプロセスパラメータとプロセスフローを調整して、他のエッチング部品と連動した均一な機能を生成できます。ベクトルには、腐食性・有害物質を含有・検疫するシールド化合物配送ユニットや、誘電体・金属エッチング材料の安全な環境など、いくつかの安全機能が装備されています。このマシンには、プロセスチャンバーとウェーハを保護するためのレーザー冷却ツールも組み込まれています。NOVELLUS Vectorは、高度な制御、再現性、精度を備えたエッチング用途に最適なツールです。信頼性が高く、メンテナンスを最小限に抑え、一貫したプロセス結果を生み出します。その信頼性の高いプロセス安定性は、スループット率の向上とコスト削減につながります。また、Vectorは独自の柔軟性とユーザビリティを兼ね備えており、ユーザーは要件を満たすためにプロセスパラメータとプロセスフローを最適化することができます。