中古 NOVELLUS Vector #9149328 を販売中

NOVELLUS Vectorは、今日の半導体市場の厳しいニーズに対応するために特別に設計された高性能エッチャー/アッシャーです。それはチップまたは板のサイズそしてタイプに合うように構成可能なさまざまなモデルを提供します。最新の技術を使用して、高速サイクルタイム、高い収率、一貫したエッチプロファイル、および大きな基板全体の均一性を実現します。ベクターエッチャーは、銅、アルミニウム、酸化ケイ素、鋼、ニッケル、アルミニウムなど、多くの基板の精密エッチングとアッシング用に設計されています。このシステムは、高いエッチング速度と均一性を備えており、高精度および再現性またはファインフィーチャー定義を必要とするアプリケーションに特に適しています。NOVELLUSベクターエッチャーは、反応性イオンエッチング（RIE）とプラズマ強化化学エッチング（PECE）を組み合わせて、高いスループットを実現しています。最先端のプラズマ源を使用してチャンバーに供給された反応ガスをイオン化し、PECE技術によりエッチャーの操作の柔軟性を高めます。これらの組み合わせにより、高品質のプロセス結果が得られ、処理時間が短縮され、Vector etcherはクラス最速の1つになります。NOVELLUS Vector etcherは、利用可能なパラメータとシステムの設定可能性の範囲では、ビートするのは難しいです。高温および低温の両方の処理と、エッチング時間やその他の制御パラメータに対するプロセスの柔軟性を提供し、ユーザーに特定のアプリケーションのプロセスを最適化するための制御を提供します。さらに、ベクターエッチャーは高度なプロセス制御を備えているため、ユーザーは基板エッチングとエッチング速度を正確に監視できます。NOVELLUSベクターエッチャーは、独自の「OptiVect」エッチングプロセスを組み込むことで、優れた再現性と機能定義を実現します。コンピュータ制御の無線周波数（RF）電源は、複数の周波数範囲を正確かつ汎用的に制御し、可能な限り最高のプロセス均一性を実現します。要約すると、ベクターエッチャーは業界で最高のパフォーマンス基準のいくつかを提供しています。最先端の技術を活用し、強力なプロセス制御機能を組み込むことにより、NOVELLUSベクターエッチャーは高速な処理時間と優れた機能定義と均一性を兼ね備えています。それらは精密および均一性を要求するプロセスのための理想的な選択です。