中古 NOVELLUS Vector #167888 を販売中

NOVELLUS Vectorは、エレクトロニクス業界で使用するために設計されたエッチング/アッシュ機器です。アルミニウム、銅、チタンなどの一般的な材料、低k誘電体などの複雑な誘電体など、幅広い材料を処理することができます。ベクトルは、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）ベースの機械であり、これは、高温の反応ガスイオンを使用して誘電体と金属層を基板に堆積させることを意味します。基板をイオン源との相対的に移動させると、金属と誘電体の複雑なパターンが発生し、精密な地形が形成されます。NOVELLUSのベクトルは非金属材料の金属そして200マイクロメートルの深い500-Micrometersまでエッチングが可能です。ガラス真空チャンバーは、優れた均一性、均一なエッチング深度、優れた加工速度を提供するユニークな機能を備えています。ベクトルは、プロセス制御と再現性を向上させるためのソフトウェア強化アークと、グラフィカルユーザーインターフェイスによって制御される自動化されたツールを備えています。このソフトウェアは、特定のアプリケーションの圧力と温度の調整を可能にし、ルーチンジョブを設定して呼び出すことができるエッチングプロセスが事前に定義されています。NOVELLUS Vectorは、エッチング工程をすばやく遮断するガスシャットオフバルブと、マイクロエッチングやパターン変形を低減する低振動環境を備えています。これにより、エッチング速度、均一性、精度が向上します。Vectorは、複数のIONソースとロボット基板ハンドラを内蔵しており、最大3つの基板を一度に処理できます。また、マルチチャンバー機能を備えており、ユーザーはさまざまな真空チャンバーでエッチングとアッシャーを行うことができます。NOVELLUS Vectorは、ウェーハ、金属、ガラスなど、さまざまな基板を取り扱うことができます。また、ウエハフラットネスコントロールと異物検査システムを組み込んでおり、必要に応じて異物を識別し、処理された基板を除去し、ユーザーに最高の歩留まり環境を保証します。NOVELLUSベクトルの温度制御ゾーンとプロセスガス管理は、安定したプラズマ環境と優れたエッチング/灰の特性を提供します。追加のケミカルバスは、追加のエッチングと灰の操作にも使用できます。ベクトルは、エレクトロニクス業界向けに設計された高度なエッチング/アッシュユニットで、さまざまな材料に対して優れたプロセス制御と再現性を提供するように設計された幅広い機能をユーザーに提供します。そのマルチチャンバー能力、ソフトウェア強化されたアーク制御、および外国粒子検査機は、エッチング/灰のニーズに強力で信頼性の高いツールをユーザーに提供します。