中古 NOVELLUS Vector Sola #9285851 を販売中

NOVELLUS Vector Solaは、高精度エッチング、アッシング、蒸気位相沈着（PVD）アプリケーション向けの高度な計測および高度なプロセスモジュールを可能にするように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。Vector Solaは、高度なプロセスアプリケーションのための高速、高精度、および費用対効果の高いソリューションを備えており、お客様のパターニングおよび蒸着ニーズに最適なソリューションを提供します。NOVELLUS Vector Solaには、16インチモニターを搭載したユーザーフレンドリーなインターフェース、I LID™成膜装置、QuikLoad™ウェーハ処理システムを搭載しており、堆積やエッチング時に優れたプロセス制御を実現しています。さらに、Vector Solaは、高度なソフトウェアアルゴリズムを含む高精度の配置ユニットを提供し、正確で効率的なウェハローディングとアンロードを実現します。NOVELLUS Vector Solaは、エッチング、アッシング、沈着システムの最新技術を活用し、優れた性能を提供します。優れたエッチング性能を実現する高度なRF/ガンマ源、アッシングアプリケーション用の専用の1150°Cクォーツチューブ炉、プロセス制御用の独自のQuikLoad ™ウェーハ処理機を備えています。さらに、Vector Solaは独自のガス供給ツールを使用しており、迅速な熱処理のための反応ガスの流れを正確に制御できます。NOVELLUS Vector Solaには、エッチング、アッシング、沈着プロセス全体で精密かつ正確な解析を可能にする幅広い高度な検出器および計測コンポーネントも含まれています。QuickScans™反射計やQuikGuage™計測資産などの幅広い光検出器は、正確かつ正確な分析を提供します。特殊な焼入れ工程も用意されており、均一性、効率、精度を高めています。ベクトルソラはまた、正確で再現性のある流量を提供するように設計された精密マスフローコントローラを備えた設定可能なガス配送制御を備えています。このモデルは、高圧トンネリングと方向性ガス供給を提供し、所望のフィルムまたは層の精密破壊を提供します。全体として、NOVELLUS Vector Solaは、高度な技術、精密計測、プロセス制御システムを備えた高性能エッチャー/アッシャーであり、エッチング、アッシング、沈着アプリケーションに優れた選択肢をお客様に提供します。