中古 NOVELLUS Vector Sola #293641465 を販売中

NOVELLUS Vector Solaは、半導体デバイスのさまざまな層をエッチングおよびアッシャーするために使用されるエッチャー/アッシャー機器です。このシステムはマルチビームレーザーを使用して、エッチングとアッシングを1つのステップで正確に組み合わせ、迅速なプロトタイピングと半導体製造を可能にします。このユニットは、デジタル光処理（DLP）投影機に基づいており、多数のレンズとミラーを組み合わせて、レーザーを加工領域に集中させて指示します。DLPモジュールには高度な空間光モジュレータ（SLM）があり、波長は260nmで、フィーチャーサイズを35nmまで処理できます。これは、現在の世代のエッチャー/アッシャーのいずれかの最高解像度です。Vector SolaはHigh Productivity Etch （HPE）モードも備えており、市場の他のシステムと比較して処理速度が3倍に向上します。その他のユニークな機能には、連続ピクセル間のタイムラグがほとんどないパルスプラズマエッチングを提供するJetEtchテクノロジーがあります。これにより、深い溝や広い溝を素早くエッチングすることができます。このツールには、ガスの流れの変動から基板を保護するアルゴンプラズマ保護（APP）、レーザーエネルギーと電力安定性を向上させる自己最適化エキシマレーザー（SEL）、プロセス精度を向上させる高度なスキャンステージ動作技術など、他にも多くの利点があります。NOVELLUS Vector Solaは、操作と機能を制御するためのユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）と、最適なエッチングとアッシングのための設定可能なパラメータを備えています。また、このインターフェースを使用すると、エッチングとアッシングの進捗状況を表示することができます。さらに、Vector Solaは費用対効果に最適化されており、ウェットクリーン、アッシュボアエッチング、スキップエッチングなどのポストエッチクリーンアップを正確に実行できます。このアセットのコンパクトなサイズは、モデルコストの削減に役立ち、オートステイン、オートストリップ、オートトランスファーなどの半導体製造事業の自動化を可能にします。NOVELLUS Vector Solaは、正確な制御、高解像度、高スループットのマルチビームレーザーエッチングとアッシングを必要とするアプリケーションに最適です。様々な生産工程のニーズに合わせて簡単にカスタマイズできる、さまざまな設定可能なパラメータを備えた汎用性の高い機器です。