中古 NOVELLUS Vector Express #9210888 を販売中

NOVELLUS Vector Expressは、半導体デバイス製造におけるエッチングおよびアッシングに最適な品質と性能を提供するために設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。これは、より低い処理コストでより効率的な速度でより良い品質のチップの製造を可能にするために、高度な技術で開発されています。これにより、コスト効率を向上させて生産を増やそうとするメーカーに最適なツールとなります。Vector Expressは、幅広い材料に優れたエッチング/アッシング方法を提供する高度なプラットフォーム上に構築されています。エッチング/アッシングプロセスを正確に制御できる所定のエッチング/アッシングレートを備えたレーザービームを使用しています。NOVELLUS Vector Expressには、結果を最適化し、エッチング/灰の間で一貫した品質を保証するための高度なプロセス制御装置もあります。さらに、このシステムは最大9種類の加工レシピを実行することができ、さまざまな材料にカスタマイズ可能なモードを作成する柔軟性を提供します。エッチング/アッシングプロセスの精度を最大化することに加えて、Vector Expressは市場で利用可能な最も先進的なソリューションの1つである他の多くの機能も提供しています。これには、望ましいエッチング結果を達成しながら材料損傷のリスクを低減することができる低温アッシングユニットと、均一でない画像アーティファクトを低減するための精密クリーニングとアライニングマシンが含まれています。NOVELLUS Vector Expressは、ウェハハンドリングを向上させるための高度で低ノイズのロードロックツールを使用することで、すでに優れた性能をさらに向上させます。Vector Expressは直感的なユーザーインターフェイスと幅広い安全機能を備えています。これには、プロセスに異常が発生した場合の自動シャットダウンと、エッチパラメータのアラーム通知と監視が含まれます。これらの機能を組み合わせることで、NOVELLUS Vector Expressは強力で信頼性の高いエッチング/アッシング資産となります。Vector Expressは、高度な技術と包括的な機能を備えており、半導体デバイス製造用のさまざまな材料で優れたエッチング/アッシング性能を提供するのに最適です。