中古 NOVELLUS Vector Express #9203794 を販売中

NOVELLUS Vector Expressは、大量の半導体および集積回路産業においてコスト効率が高く、時間を節約するために設計された革新的なハイエンドエッチング装置です。Vector Expressシステムは、ベクトルプロセス制御を利用して、実績のあるNOVELLUSプラットフォームを中心に構築されており、幅広いエッチングアプリケーションで高速かつ一貫した結果を提供します。NOVELLUS Vector Expressは、1ミクロン以下の複雑な機能を高繰り返し精度でエッチングすることができます。Vector Expressは絶対的な均一性を目指して設計されており、手動エッチングシステムと比較してより大きなプロセス制御を可能にし、製造エンジニアが高効率なエッチングプロセスを迅速に確立することができます。統合ユニットには、最大4つのチャンバを制御および統合できる標準プロセスモジュール（SPM）と、追加のチャンバとプロセス制御を備えたクラスタモジュール繰り返し（CMR）が付属しています。NOVELLUS Vector Expressマシンはフットプリントが小さく、タイトで自動化された製造用リンでの使用に理想的です。エッチャーは、バイアス、電圧、圧力、および温度のクローズドループ制御を提供し、正確で制御されたエッチングパラメータを可能にし、エラーを最小限に抑えて詳細を確実にします。Vector Expressは、光子活性エッチング（PAE）用に設計されています。これは、特殊なレーザー光パルスを使用して、従来のエッチャープロセスよりも精度と解像度の高い材料をエッチングするプロセスです。また、リモートおよび無人運転のための専用パターンエージングバルブ（PAV）技術も搭載しており、オペレータの介入なしに自動起動およびシャットダウンが可能です。全体的に、NOVELLUS Vector Expressは最適なエッチング性能を目指して設計されており、優れたプロセス制御のための統合されたハードウェアがサポートされています。業界で現在入手可能な他のエッチングシステムの多くと比較すると、Vector Expressはより高速な処理速度を提供し、量産作業に優れたパフォーマンスとコスト削減を提供します。