中古 NOVELLUS Vector Express #9203793 を販売中

NOVELLUS Vector Expressは、半導体デバイス製造における高度なプロセス柔軟性と性能を目的とした高速エッチングおよびアッシング装置です。さまざまな独自技術を組み合わせ、1つの加工チャンバに幅広い集積回路（IC）を構築します。このシステムは、優れたスループットレート、管理された所有コスト、最適なスペース効率を提供します。Vector Expressは革新的で自己完結型の設計を誇り、最小限の労力と運用の中断で設置とセットアップを可能にします。NOVELLUS Vector Expressは、さまざまなエッチングおよびアッシング処理に使用されます。アプリケーションの複雑さに応じて、ユニットは、マルチステップ処理でデバイスまたは複数の層の単一の層をエッチングすることができます。それはまたさまざまなウェーハのクリーニングおよび背部満ちる仕事に使用することができます。機械は2つの主要な部品と設計されています：主要な処理部屋および熱伝達部屋。後者は、エッチング、アッシング、アニール処理のラジカルを生成するために使用される小型炉です。最大の生産性を確保するため、Vector Expressは洗練されたローラーシャッタードアを使用しており、処理サイクルを中断することなくウェーハの迅速なロードとアンロードを可能にします。また、このプロセッサは直感的なユーザーインターフェイスを備えており、タッチスクリーンにアクセスできる便利な機能とパラメータを備えています。このツールは最大8つのレシピを保存することができ、プロセス間の迅速かつ簡単な切り替えを可能にします。一般的に使用されるガス組成物のライブラリも統合されており、ユーザーは頻繁に使用されるガス混合物に素早くアクセスできます。NOVELLUS Vector Expressは、抵抗プラズマ源と誘導プラズマ源の両方を備えており、アセットは高精度で高スループットエッチングとアッシングを実現します。また、低周波プラズマを使用して粒子生成を低減し、優れたエッチング均一性を確保します。このモデルの堅牢な設計は、既存の生産ラインに最適な統合を可能にする幅広いプロセスガスで動作します。最後に、Vector Expressは優れたプロセス監視と制御を提供し、リアルタイムの調整と処理条件の最適化を可能にします。要約すると、NOVELLUS Vector Expressは、優れたスループット率、効率的なスペース消費、優れた制御機能、直感的なユーザーインターフェイスを提供する高度なエッチャーおよびアッシャーです。堅牢で革新的な設計により、生産能力を最大限に高めたいチップメーカーにとって理想的な選択肢です。