中古 NOVELLUS Vector Express #9125995 を販売中
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販売された
ID: 9125995
PECVD Systems, 12"
Process: AHM
PECVD (Chemical Vapor Deposition)
Currently in fab
Configuration selections:
Silane Oxide-USG (standard)
Silicon nitride-SiN (standard)
Anti-reflective layer - Pearl
Nitrogen free anti-reflective layer -N- free pearl
Ashable hardmask
Facilities configuration:
Bottom (default)
Remote interconnect cable lengths:
75ft (Default)
Primary user interface location:
Right (default)
Options:
Factory automation communication
Interface (AGV or OHT interface)
Clean room installation kit
High speed spindle
Heated process module manometer
Leak-check shutoff valve for process module
Vector gas box options
(3) Additional gas lines per gas box:
O2 Gas line
CO2 Gas line
C2H2
Customer engineering specials and/or additional items:
CES 4-Light towers (CESCVD04321A)
CES IMM Readiness for 2 FOUP
CES gas box special GIB (CESCVD04339A)
CES gas box safety exhaust Enclos(CESCVD04357)
RF Switch plasma treatment hardware
Hermos ID reader 6M loader (CESCVD04325A)
2005 vintage.
NOVELLUS Vector Expressは、高度なチップ技術に使用される新素材の多くを含む、幅広い層スタックを処理できる高性能エッチングおよびアッシャー装置です。このシステムはデュアルゾーンアーキテクチャに基づいており、エッチングとアッシャー操作の2つの独立したプロセスゾーンがあります。デュアルゾーンアーキテクチャは、単一のユニットで高いスループットと柔軟性を実現し、幅広いプロセスオプションと機能を可能にします。Vector Expressは、一度に最大4つの基板を処理でき、大量の製造に効率的で信頼性の高いプラットフォームを提供します。この機械の高精度ツーリングは、エッチングおよびアッシャー操作を正確に制御しながら、欠陥を最小限に抑え、歩留まりを向上させることができます。NOVELLUS Vector Expressは、高密度プラズマ源を備えており、優れた均一性と業界をリードするエッチング率を提供します。このツールは、クリティカルなレイアウト機能のための非常に低いCDの均一性と線幅の粗さの仕様を達成することができ、それは、塩化物の高精度パターニングを含む、さまざまなプロセスに使用することができます。この資産には、リアルタイムのマルチゾーン真空フィードバック、改良されたマルチポイントエッチング速度制御、統合ビジョンなどの高度なエッチプロセス制御機能も含まれています。これらの機能により、製品寸法および組成要件を正確に制御できます。また、Vector Expressはプラズマチャンバーの厳しい温度制御を備えているため、非常に小さいまたは狭い臨界寸法の特徴を持つ温度に敏感な材料を処理することができます。さらに、プラズマチャンバーは、さまざまな材料やプロセスパラメータに対して必要に応じて加熱または冷却することができます。NOVELLUS Vector Expressは、高いスループットと柔軟性を必要とするエッチングおよびアッシャー用途に最適です。それは堅い次元制御および優秀なプロセス均一性のレイヤースタックおよび特徴のサイズの広い範囲を、処理できます。統合された高度なプロセス制御およびビジョンシステムは、優れた製品品質を提供し、Vector Expressは大量のエッチングおよびアッシャー用途に最適です。
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