中古 NOVELLUS Vector Express AHMxT #9213313 を販売中

NOVELLUS Vector Express AHMxTは、浅いトレンチ絶縁（STI）などの高度な半導体アプリケーション向けに設計されたデュアルチャンバーエッチング/アッシャー装置です。最大150nmまでのワイヤのエッチング/アッシングに、高効率で費用対効果の高い方法を提供します。Vector Express AHMxTは、2つの独立制御モジュールを備えており、同時にエッチングとアッシャー処理を行うことができ、メンテナンスとクリーニングのための簡単にアクセスできるチャンバーです。NOVELLUS Vector Express AHMxTのエッチングチャンバーには、5〜150nmの材料層を加工できるハイスループット多周波プラズマ発生器が装備されています。ALD/CVDのようなプロセスは、チャンバーに選択された前駆体が装備されているときにも実行することができます。インテリジェント制御ロジックを採用し、エッチングチャンバーは非常に効率的で費用対効果の高い方法で非常に高いエッチング率を達成することができます。Vector Express AHMxTのアッシャーチャンバーは、ソース質量分析計を使用して、プロセスガスや基板温度を正確に測定し、ガス混合能力を向上させます。アッシャーは、非常に精密な制御で最大150 nmの機能サイズの材料を処理することができます。また、ウェハステージローダーを搭載し、STIやダマシン加工などの基板の積み下ろしが容易です。NOVELLUS Vector Express AHMxTの一般的な用途には、浅いトレンチ絶縁（STI）、浅いトレンチ絶縁（STI）、コンタクトホール、ゲートトレンチ、垂直および水平相互接続、ダマシン処理などがあります。このユニットは、非常に高いエッチング率と優れた表面均一性と清潔性を生成することができます。さらに、Vector Express AHMxTは、優れた「ぐらつき」と再現性を提供し、高い収率と一貫したデバイス特性を可能にします。全体として、NOVELLUS Vector Express AHMxTは、高度なデバイス製造および処理アプリケーション向けの高性能エッチング/アッシャーマシンを半導体メーカーに提供しています。デュアルチャンバー設計により、エッチングとアッシングを同時に行うことができ、高度なプラズマジェネレータとソース質量分析計により、正確な制御と優れた再現性を提供します。このツールはまた、高いスループット率と効率的な処理により、コストを削減します。