中古 NOVELLUS GAMMA XPR #9133009 を販売中

NOVELLUS GAMMA XPRは、幅広い材料に精密なダイレベルエッチングとアッシングを提供するエッチャー/アッシャーです。精度と速度を考慮して設計されており、あらゆる金属をナノメートルレベルまで加工することができます。これは、エッチング/アッシングツールの正確な移動を可能にする調整可能なカンチレバービームを備えた垂直設計を特徴としています。このビームは、加工された材料の滑らかで高精度な動きとサイズ変更を提供する、ハイタッチZ軸駆動リニアモータに取り付けられています。この装置は、様々な材料を素早く効率的にエッチング・アッシュする独自の最先端技術を誇っています。高度なエッチング/アッシュパターン設計と最適な基板構成により、最高のパフォーマンスを実現します。統合されたレーザースキャニングシステムにより、エッチング/アッシング面にパターンを正確に転送できます。さらに、基板プロセスモニタは、プロセスの進捗状況をリアルタイムでフィードバックします。GAMMA XPRに総力の2000ワットまでの高い発電/高精度の統合されたエッチング/ashing単位があります。幅広い材料に対して低温・高温での動作が可能です。さらに、高速のストレートスルーパススルーパーツを搭載し、各軸に最大150mm/sの移動が可能で、迅速かつ効率的なダイレベルエッチング/アッシングが可能です。NOVELLUS GAMMA XPRは、プロセスを合理化し、手動データ入力の必要性を排除する包括的なユーザーフレンドリーなアプリケーションとソフトウェアによってサポートされています。フォトマスクや補助機器などの他の機器との直接接続や包括的な診断機能を可能にする通信リンクを内蔵しています。最後に、GAMMA XPRは厳密なプロセス制御および監視が装備されており、時間後に正確で繰り返し可能な性能時間を確保します。全体として、NOVELLUS GAMMA XPRは、さまざまな材料の加工に精度と速度を提供する業界をリードするエッチング/アッシング機です。高度な技術と制御ソフトウェアにより、エッチング/アッシングプロセスにとって貴重なツールとなり、精密加工に最適です。