中古 NOVELLUS Gamma Express #9314670 を販売中

NOVELLUS Gamma Expressは、生産および開発歩留まりの向上のために設計されたエッチングおよびアッシング装置です。単一のシステムでドライエッチング、ウェットエッチング、アッシング、ヨウ素ストリップを実行することができます。Gamma Expressプラットフォームは、高精度のアライメント技術と迅速なサイクルと基板認定時間を組み合わせたプラズマ互換性を提供します。NOVELLUS Gamma Expressは、高いスループットで高品質で繰り返し可能なエッチングプロセスを提供するように設計されています。これを実現するために、シリコン、ヒ素ガリウム、酸化ケイ素など様々な基材に精密光学イメージングが可能な高度な光学アライメントユニットを採用しています。これにより、小さなフィーチャーサイズの迅速かつ正確なエッチングが可能になり、エッチングプロセス全体にわたって一貫したイメージングマシンが維持されます。エッチング処理は、高圧RF電源によって供給される無線周波数（RF）電源を使用して行われます。このRFパワーは、プラズマガスを生成するために使用され、基板の位置、材料、およびエッチングパラメータに基づいてエッチングチャンバーを介して指示されます。このプロセスにより、絶縁性の高い均一なエッチング環境が保証されます。Gamma Expressは、より高いレベルの除去速度と選択性を必要とするアプリケーション向けにウェットエッチングを実行することもできます。このウェットエッチングプロセスは、XeF2などの液体エッチング剤と、精密エッチングを保証する最適化されたRFパターンを組み合わせたものです。このウェットエッチングプロセスは、トレンチ、ビア、コンタクトホールなどの高いアスペクト比の機能に使用できます。エッチングとウェットエッチングに加えて、ノベラスガンマエクスプレスはアッシングとヨウ素の除去が可能です。このアッシング処理は、酸素ベースのガスを利用して、ウェーハ表面から残留感光性有機層材料を除去します。一方、ヨウ素ストリッピングは、リソグラフィ過程で完全には開発されなかったフォトレジストを除去するために塩素ベアリングガスを利用しています。全体として、Gamma Expressは高精度イメージング、高スループット、複数の基板との互換性、高速サイクルおよび基板認定時間を提供する高度なツールです。生産アプリケーションと開発アプリケーションの両方で歩留まり向上を最大化するために設計された信頼性の高いエッチングおよびアッシング資産です。