中古 NOVELLUS Gamma Express #9259682 を販売中

NOVELLUS Gamma Expressは、半導体デバイス用の多層回路構造を作成するために設計された高度なエッチャーおよびアッシャーです。連続蒸着およびエッチング処理を利用して、手動での介入を最小限に抑えて複雑な微細構造を迅速に作成します。これにより、複雑な電子機器の幅広い部品を効率的に製造することができます。Gamma Expressは、効率的で効果的なユーザーエクスペリエンスにつながるさまざまな機能を備えて設計されています。加熱プラズマ、RF、 DCパワーユニット、温度制御、およびエッチングおよびアッシングに必要な手動ステップの数を簡素化および削減する自動基板ローディングおよびアンローディングシステムが含まれています。さまざまなオプションと設定が利用可能なため、製造メーカーは製造プロセスを正確に制御できます。NOVELLUS Gamma Expressは、手作業の必要性を低減し、エッチングおよびアッシングプロセスの高精度を保証する自動ウェーハアライメントシステムも備えています。このシステムにより、エッチングとアッシングのプロセス全体にわたって基板のパターンとアライメントが維持され、より一貫した結果が得られます。Gamma Expressは、自動属性とは別に、密閉雰囲気を提供する拡張可能なロードロックを備えており、幅広い材料のエッチングとアッシングを可能にし、1,500°Cまでの温度での沈殿とエッチングが可能です。また、洗浄薬品を転送する機能を持っています。最後に、NOVELLUS Gamma Expressは、より高い基板沈着率とより少ない欠陥を持つ電子デバイスのより高い収率を可能にする定常動作も含まれています。これにより、Gamma Expressの生産効率と信頼性が向上します。結論として、NOVELLUS Gamma Expressは、複雑な電子部品の製造に関与する手作業を削減するように設計された高度なエッチャーおよびアッシャーです。ウェーハアライメントシステム、加熱プラズマ、RF、 DCパワーユニット、温度制御、および化学輸送システムを自動化し、複数の材料の精密なエッチングとアッシングを可能にします。これは、より高い生産率とより高い歩留まりのための定常運転を提供し、より高い効率と信頼性の高い結果につながります。