中古 NOVELLUS Gamma Express #9169777 を販売中

NOVELLUS Gamma Expressは、半導体製造プロセスで使用される幅広い基板上に非常に精密な製品機能を生成するように設計された高精度エッチャー/アッシャーです。これは、高スループット、高精度の微細加工アプリケーション向けに設計されており、エッチングとアッシングのための複数のチャンバー構成で利用できます。Gamma Expressは、異方性およびドライエッチングプロセスを利用したシングルウェーハ、マルチチャンバーエッチャー/アッシャー装置です。5ミクロンまでの特長サイズが可能で、工具からウェーハまでの処理時間は4秒です。これは、高度なCryo ECRソースと2つのプロセスガス、酸素と窒素を備えており、精密なエッチングとアッシングプロセスを提供します。そのIntermixチャンバーには、エッチングの選択性と厚さを変更する2つの構成要素（ユーザー設定可能）が含まれています。そのジェットエッチエンハンサーは、市場で他のエッチャーやアッシャーと比較して生産性を向上させます。NOVELLUS Gamma Expressは、完全に統合されたプロセス制御ユニットを提供し、ユーザーフレンドリーな制御を備えたSENTRYX制御システムで設計されており、ユーザーはそのRecipeEditorでエッチングとアッシングのレシピを作成および管理できます。その高度な診断ツールは、ツールのパフォーマンスを追跡し、予測メンテナンスのための分析を提供します。また、ツールのダウンタイムを減らすためにパージ処理を制御するJETON eXchangeも備えています。さらに、Gamma Expressは、ウェーハの取り扱いと汚染を低減し、ダウンタイムを低減するように設計されたデュアルゾーンのロードロックチャンバーを備えています。最後に、最大速度で安全にウェーハを転送するデュアルアームロボットを搭載し、所有コストを削減します。NOVELLUS Gamma Express Etcher/Asherは、高度な制御機械と複数の基板を処理する柔軟性を備え、あらゆる半導体生産環境に最適なツールです。精密なエッチングとアッシングプロセスを提供し、生産性を向上させ、所有コストを削減します。